چرا از روش خشککردن با امواج مادون قرمز برای ویفرها استفاده میکنیم؟
بیایید درباره روشهای قدیمی صحبت کنیم. سالهاست که برای خشک کردن ویفرها، از فرهای همرفتی و مواد شیمیایی خطرناک استفاده میکردیم. البته این روش جواب میداد، اما پرهزینه و ناکارآمد بود.
امروزه، رویکرد «سبز» یا «بدون سرب» تنها یک شرط برای دریافت مجوز از سوی مقامات نیست؛ بلکه هدف، حذف آن ترکیبات 유기ی فرار خطرناک و کاهش اثرات زیستمحیطی در اتاقهای پاکسازی است. این کار کاملاً منطقی است.
نحوه عملکرد امواج مادون قرمز
فرهای همرفتی، هوا را گرم میکنند و سپس منتظر میمانند تا آن هوا ویفر را گرم کند. این روش کند و هدردهنده است.
اما لامپهای مادون قرمز متفاوت هستند؛ آنها از تشعشعات الکترومغناطیسی برای گرم کردن سطح ویفر استفاده میکنند. دیگر نیازی نیست یک جعبه فلزی بزرگ را گرم کنیم تا کار انجام شود.
نتیجه چیست؟ خشککردن ویفر به سرعت انجام میشود؛ بهرهوری افزایش مییابد و هزینه برق نیز کاهش مییابد. این یک روش بسیار بهتر است.
دریافت مشخصات مناسب بدون استفاده از مواد سمی
روشهای قدیمی خشککردن، مستلزم استفاده از حلالهایی بود که باید با حرارت بالا از بین بروند.
اما با استفاده از امواج مادون قرمز، میتوانیم طول موج را تنظیم کنیم؛ در نتیجه، فقط بخشهای مشخصی از رزیست یا چسب که نیاز به گرما دارند، گرم میشوند، بدون اینکه خود سیلیکون تحت تأثیر قرار بگیرد.
از آنجایی که این روش بسیار دقیق است، دیگر نیازی نیست گازهای سمی در اتاق پخش شوند. علاوه بر این، این روش به ما اجازه میدهد از استفاده از مواد تثبیتکننده حاوی سرب در مواد خشککننده خودداری کنیم. این روشی تمیزتر برای کار است.
معایب (چون هیچ چیز کامل نیست)
مشکل اینجاست که لامپهای مادون قرمز با توان بالا، مقدار زیادی گرما تولید میکنند. اگر سیستم خنککننده مناسبی نداشته باشید، مشکلاتی پیش خواهد آمد؛ ممکن است ویفر تغییر شکل دهد یا اتصالات لامپ ذوب شوند.
همیشه تعادلی بین سرعت و یکنواختی وجود دارد؛ اگر لامپ را نزدیکتر به ویفر قرار دهید، خشککردن سریعتر انجام میشود، اما خطر ایجاد نقاط گرم وجود دارد. باید فاصله مناسبی بین لامپ و ویفر تعیین کنیم تا همه چیز یکنواخت باشد.
ما این سیستمها را به گونهای طراحی کردهایم که جایگزین مناسبی برای آن فرهای قدیمی با مصرف بالای انرژی باشند. در نتیجه، فضای کمتری برای نگهداری فرها لازم است و هزینههای بانکی نیز کاهش مییابد. ساده است.