Arrêter l’horreur des pannes des tubes dans le traitement des wafers
Si vous avez déjà eu affaire à une défaillance d’une lampe IR pendant un processus à haute charge, vous savez que cela ne concerne pas seulement le temps d’arrêt du système. C’est un vrai désastre : des morceaux de verre et des filaments en tungstène tombent sur les wafers, ce qui entraîne une contamination grave.
Nous avons passé beaucoup de temps à trouver des moyens pour éviter que cela ne se produise.
Pourquoi le réflecteur en aluminium est important
Nous utilisons des réflecteurs en aluminium de haute pureté, non seulement pour diriger la chaleur, mais aussi comme barrière de sécurité. En placant la lampe dans un réceptacle en aluminium précisément fabriqué, nous créons une barrière physique. Si un tube tombe en panne, ce réceptacle capture la plupart des débris avant qu’ils ne touchent les wafers.
De plus, la forme de ces réflecteurs permet d’obtenir de meilleurs résultats avec moins d’énergie. Vous pouvez atteindre les températures souhaitées en utilisant une puissance moindre. C’est un avantage énorme, car moins de chaleur sur le quartz signifie que les tubes durent plus longtemps.
Maintenir tout propre
Nous mettons également des protections entre la lampe et les wafers. C’est une solution simple qui évite beaucoup de problèmes. Si une lampe tombe en panne, la protection capture les débris. Vous pouvez simplement remplacer la lampe et reprendre le travail, sans avoir à passer des heures à nettoyer toute la chambre.
De plus, nous accordons beaucoup d’attention aux points de connexion. Nous avons vu trop de tubes tomber en panne à cause de défauts dans les connexions. Pour éviter cela, nous utilisons des fixations solides qui résistent aux vibrations.
L’inconvénient
Il y a cependant un inconvénient : l’ajout de réflecteurs et de protections augmente la masse du système. Vous remarquerez probablement un léger retard lorsqu’on augmente la température, par rapport à l’utilisation de lampes ordinaires. Il faudra donc ajuster les paramètres PID pour compenser cette masse supplémentaire, afin de ne pas dépasser la température souhaitée.
C’est un petit prix à payer pour avoir l’esprit tranquille, sachant que vos wafers sont en sécurité.