בחדר הליתוגרפיה, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום לסטיות ברוחב הקווים שנוצרים. לא ניתן לשלוט באיכות המוצר כשהטמפרטורות משתנות. לכן יצרנו מודולי חימום באינפרא-אדום ששומרים על הטמפרטורות בתוך הטווח הרצוי, משימוש לשימוש.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בגופי פליטה באינפרא-אדום בעלי תגובה מהירה, כך שניתן להגיע לטמפרטורה הרצוית במהירות ולשמור על יציבות הטמפרטורה. על פני השטח של הוואפר, האחידות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזרה על אותו תוצאה בין שימושים שונים היא בטווח של ±0.2°C. שליטה בטמפרטורה נעשית באמצעות מערכות פירומטריה ו-PID, כך שהטמפרטורה לא משתנה כשהדלת נפתחת. המודולים פועלים בחדרים נקיים מסוג Class 1–100, והמבנה שלהם עשוי מקוורץ/קרמיקה, כך שאין שום חלקיקים שעלולים להזהם את התהליך.
למה זה עובד בתהליך הטיפול בפוטורזיסט? חימום עדין וחימום אינטנסיבי קובעים את קצב הסרת החומרים המסיסים ואת רמת הקישור בין הפולימרים. השימוש באינפרא-אדום מקצר את זמן החימום, תוך שמירה על שליטה בממדים החשובים, וכך ניתן לשפר את איכות הקווים שנוצרים. תגובה מהירה של גופי הפליטה מאפשרת שימוש יעיל באנרגיה, כך שהצריכה האנרגטית יורדת מבלי לפגוע בקצב העבודה.
מה חשוב לזכור? ביצועים מעולים תלויים בהתאמה בין ספקטרום הפליטה של גופי הפליטה לבין רמת הספיגה של הפוטורזיסט, וכן בהתאמה בין המודולים לבין הממשקים המכניים ומערכות הקירור של המכשיר. יש לבצע בדיקות ראשוניות כדי להתאים את מערכות השליטה ולוודא את האחידות של הטמפרטורה על המשטח הרצוי. לאחר ההתאמה, הטמפרטורה נשארת בתוך הטווח הרצוי – לא רק לפי הנתונים התיאורטיים.