परिचय
सच तो यह है कि हम EUV रेजिस्ट हीटर उत्पाद इसलिए ही बनाते हैं – ताकि आपके लिथोग्राफी उपकरण सतत काम करते रहें। कोई रुकावट नहीं… कोई समस्या नहीं।
इन उत्पादों के लिए आवश्यक मानक बहुत ही कठोर हैं; त्रुटियों की संभावना भी बहुत कम है। ऐसी परिस्थितियों में हम अपने उत्पादों पर 24 महीने की गुणवत्ता गारंटी देते हैं। और यदि कोई समस्या आ जाए, तो हम 24 घंटों के भीतर ही तकनीकी सहायता प्रदान करते हैं। क्योंकि जब आपका उपकरण बंद हो जाता है, तो हर मिनट आपको वास्तविक नुकसान पहुँचाता है।
तकनीकी विवरण
EUV रेजिस्ट हीटिंग में सटीक तापमान नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है। इसलिए हमारे हीटर 400V इनपुट एवं 2500W आउटपुट के साथ बनाए गए हैं। इस उच्च वोल्टेज/ऊर्जा स्तर के कारण तापमान तेजी से बढ़ता है, जो रेजिस्ट के सुचारू कार्य हेतु आवश्यक है।
हमने 300 मिमी लंबाई वाले ट्यूब का ही उपयोग किया… क्योंकि यह मानक रेजिस्ट हीटरों के लिए उपयुक्त है। इसका मतलब है कि इसे बिना किसी बदलाव के ही उपयोग में लाया जा सकता है… इससे आप तुरंत ही काम शुरू कर सकते हैं।
सामग्री एवं डिज़ाइन
इन हीटरों में शॉर्टवेव हैलोजन तत्व है, जो क्वार्ट्ज कवर में लपेटा गया है। क्वार्ट्ज तेजी से गर्म/ठंडा हो सकता है… एवं वैक्यूम में भी साफ रहता है। शॉर्टवेव स्पेक्ट्रम ऊर्जा को ठीक वहीं भेजता है, जहाँ उसकी आवश्यकता है… जिससे अनावश्यक ऊर्जा की बर्बादी नहीं होती।
वह विशेष परावर्तक कोटिंग? यह इन्फ्रारेड ऊर्जा को सीधे लक्ष्य तक पहुँचाती है… जिससे बेहतर तापीय संयोजन होता है, एवं ऊर्जा की बर्बादी कम होती है।
R7s कनेक्टर, कंपन की स्थिति में भी सब कुछ सुरक्षित रखता है… इसका उपयोग करना आसान है… जिससे कनेक्शन बिंदुओं पर कोई समस्या नहीं आती।
उपयोग एवं लाभ
EUV रेजिस्ट हीटिंग में यह सिस्टम आवश्यक स्थान पर ही उच्च तापमान प्रदान करता है… जिससे आप तापमान को तेजी से एवं सटीक रूप से नियंत्रित कर सकते हैं।
24 महीने की गुणवत्ता गारंटी केवल एक वादा ही नहीं है… बल्कि यह नियंत्रित विनिर्माण प्रक्रिया एवं वास्तविक परीक्षणों का परिणाम है… इसलिए आप आत्मविश्वास से अपने रखरखाव की योजना बना सकते हैं।
और जब उपकरण में कोई समस्या आ जाती है, तो हमारी 24 घंटों की तकनीकी सहायता आपको तुरंत ही समस्या का समाधान करने में मदद करती है।
ध्यान रखें: 400V एवं 2500W वोल्टेज के कारण अच्छी शीतलन प्रणाली आवश्यक है… आपके उपकरण की थर्मल प्रबंधन प्रणाली भी इसके लिए उपयुक्त होनी चाहिए। हम आपको हीटर के साथ-साथ आवश्यक सहायता भी प्रदान करते हैं… ताकि आपकी प्रक्रिया स्थिर रहे।