फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया कोई साधारण चरण नहीं है; यह तो एक महत्वपूर्ण तत्व है जो कि उत्पादन प्रक्रिया में आवश्यक मापदंडों को बनाए रखने में मदद करता है। यदि सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान तापमान में 2°C का भी अंतर आ जाए, तो पूरी लिथोग्राफी प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है। ऐसी स्थिति में प्रक्रिया अपने निर्धारित मापदंडों के अनुरूप नहीं चल पाती।
हमने अपने फोटोरेजिस्ट गर्म करने वाले उपकरणों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि ये हर शिफ्ट में भी उचित तापमान बनाए रख सकें।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम नियर-इन्फ्रारेड (NIR) तकनीक का उपयोग करते हैं, ताकि वेफर की सतह पर उचित तापमान सुनिश्चित हो सके। इस तकनीक से ऊर्जा तेज़ी से पहुँचती है, लेकिन वेफर क्षतिग्रस्त नहीं होता। तापमान वेफर की सतह पर समान रहता है, एवं विभिन्न बैचों के बीच भी तापमान में कोई अंतर नहीं आता।
इसका लाभ यह है कि यह प्रक्रिया एक स्थिर पैरामीटर के रूप में कार्य करती है, न कि एक चलते हुए लक्ष्य के रूप में।
लिथोग्राफी में इसका क्या महत्व है?
फोटोरेजिस्ट को गर्म करने से घुलनशील पदार्थों का निष्कासन एवं फिल्म का चिपकना संभव होता है। इस उपकरण के उपयोग से वेफर पर उचित तापमान बना रहता है, क्लीनरूम-अनुकूल परिस्थितियाँ बनती हैं, एवं कोई कण भी नहीं बनता। इससे उत्पादन दर बढ़ जाती है, एवं अपशिष्ट भी कम हो जाता है।
यह सिस्टम 24/7 कार्य करता है, इसलिए कोई अप्रत्याशित व्यवधान नहीं आता। ऐसे में उपकरणों के सेटिंग्स में समय खर्च करने की आवश्यकता नहीं रह जाती, बल्कि बेहतर उत्पादों को तैयार करने में ही समय खर्च होता है।
क्या चीजें सही ढंग से की जानी आवश्यक हैं?
NIR लैंपों को बेकिंग स्टेशन में सही तरीके से इंस्टॉल करना आवश्यक है – वेफर की सतह के साथ सही तरीके से जोड़ना, नियंत्रित शीतलन, एवं आसपास के ऑप्टिकल उपकरणों/सामग्रियों की रक्षा हेतु उचित सुरक्षा व्यवस्था। यदि आप उचित तापमान बनाए रखना चाहते हैं, तो शुद्ध बिजली एवं उचित ताप नियंत्रण आवश्यक है।
हम इंस्टॉलेशन संबंधी मार्गदर्शन भी प्रदान करते हैं, ताकि लैंप पहले ही दिन से ही निर्धारित मापदंडों के अनुरूप कार्य कर सके। हम सिस्टम का आकार भी आपके चैंबर की ज्यामिति एवं उत्पादन लक्ष्यों के अनुरूप ही तय करते हैं।