अपने क्लीन रूम में इस्तेमाल होने वाले ट्रॉलियों को “स्पेस हीटर” में बदलना बंद करें।
जब सेमीकंडक्टर वेफरों को एक जगह से दूसरी जगह ले जाया जाता है, तो उन्हें सही तापमान पर रखना बहुत ही महत्वपूर्ण है। लंबे समय तक, ऐसे मामलों में कन्वेक्शन हीटरों का ही उपयोग किया जाता रहा। लेकिन समस्या यह है कि ऐसे हीटर सब कुछ को गर्म कर देते हैं… इससे ट्रॉली वास्तव में एक विशाल रेडिएटर जैसा ही बन जाता है, और ऑपरेटरों को उसकी बाहरी दीवारों को छूने से चोट लगने का खतरा रहता है।
इसलिए, हमने हवा के विरुद्ध संघर्ष करना बंद करके डायरेक्शनल इन्फ्रारेड (IR) हीटिंग का उपयोग करने का फैसला किया।
यह कैसे काम करता है?
इसे एक टॉर्च की तरह ही समझ सकते हैं… लेकिन यहाँ ऊष्मा ही उत्पन्न होती है। IR लैंप, बॉक्स के अंदर की हवा को गर्म करने के बजाय, विद्युत-चुम्बकीय विकिरण को सीधी रेखा में भेजते हैं। यह ऊर्जा तभी ऊष्मा में बदलती है, जब वह वास्तव में लक्ष्य तक पहुँचती है।
लैंपों की स्थिति को सही ढंग से निर्धारित करके, एवं रिफ्लेक्टरों का उपयोग करके, हम उस ऊष्मा को सीधे वेफरों तक पहुँचा सकते हैं। इससे आंतरिक दीवारें अतिरिक्त ऊर्जा को अवशोषित नहीं करतीं, और ट्रॉली का बाहरी हिस्सा ठंडा ही रहता है। इस तरह, ऊष्मा सीधे वेफरों तक ही पहुँचती है… कहीं और नहीं।
कुछ नुकसान/चुनौतियाँ:
हम आमतौर पर शॉर्ट-वेव क्वार्ट्ज लैंपों का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि ये लैंप तुरंत ही तापमान बढ़ा देते हैं। लेकिन इन लैंपों से उत्पन्न होने वाली ऊष्मा बहुत ही तीव्र होती है… यदि रिफ्लेक्टर ठीक से काम न करे, या ट्रॉली में कोई वेफर ही न हो, तो वह ऊर्जा ट्रॉली की आंतरिक दीवारों पर ही पड़ेगी… ऐसी स्थिति में ट्रॉली का ढाँचा खराब हो सकता है।
यह क्यों फायदेमंद है?
सबसे अच्छी बात यह है कि हमें ट्रॉली के बाहरी हिस्से पर लगे भारी/बड़े इन्सुलेशनों की आवश्यकता ही नहीं है। इससे ट्रॉली का आकार छोटा रहता है… जो क्लीन रूम में हवा के प्रवाह के लिए बहुत ही फायदेमंद है। इसके अलावा, ऑपरेटरों को चोट लगने का खतरा भी नहीं रहता… इससे पूरी प्रक्रिया आसान हो जाती है… और आपको केवल कुछ वेफरों को एक जगह से दूसरी जगह ले जाने हेतु ही HVAC सिस्टम का उपयोग करने की आवश्यकता नहीं है।