Mengapa kita beralih ke metode pengeringan menggunakan sinar inframerah untuk wafer
Mari kita bahas cara lama dalam mengeringkan wafer. Selama bertahun-tahun, kita menggunakan oven konveksi yang besar serta berbagai bahan kimia berbahaya untuk mengeringkan wafer tersebut. Cara ini memang efektif, tetapi prosesnya rumit dan tidak efisien.
Saat ini, konsep “ramah lingkungan” atau “bebas timbal” bukan sekadar syarat yang harus dipenuhi oleh pihak pengawas saja. Tujuannya adalah untuk menghilangkan zat-zat organik volatil yang berbahaya, serta mengurangi jejak karbon di dalam ruang bersih. Ini merupakan hal yang masuk akal.
Bagaimana cara kerja sinar inframerah
Bayangkan oven konveksi: udara dipanaskan terlebih dahulu, lalu udara tersebut digunakan untuk memanaskan wafer. Prosesnya lambat dan boros energi.
Lampu inframerah berbeda. Lampu ini menggunakan radiasi elektromagnetik untuk memanaskan permukaan wafer secara langsung. Tidak perlu lagi memanaskan kotak logam besar beserta udara di sekitarnya hanya untuk menyelesaikan pekerjaan tersebut.
Hasilnya? Proses pengeringan berlangsung lebih cepat. Produktivitas meningkat, sementara biaya listrik berkurang. Ini merupakan solusi yang win-win.
Mendapatkan hasil yang optimal tanpa racun
Metode pengeringan tradisional biasanya membutuhkan penggunaan pelarut yang perlu dipanaskan hingga suhu tinggi.
Dengan sinar inframerah, kita dapat menyesuaikan panjang gelombangnya. Kita dapat memanaskan bagian-bagian tertentu pada fotoresist atau bahan perekat yang membutuhkan panas, tanpa merusak substrat silikon itu sendiri.
Karena prosesnya sangat presisi, tidak akan ada gas beracun yang keluar dari sistem tersebut. Selain itu, kita juga tidak perlu lagi menggunakan bahan pengawet yang mengandung timbal. Ini merupakan cara yang lebih bersih untuk melakukan proses pengeringan.
Kelemahan metode ini
Namun, ada kelemahannya. Sinar inframerah intensif menghasilkan banyak panas dalam ruang yang sangat kecil. Jika sistem pendinginnya tidak bekerja dengan baik, bisa saja wafer menjadi cacat atau konektor lampu meleleh.
Selalu ada keselarasan antara kecepatan dan kualitas hasil pengeringan. Jika lampu diletakkan terlalu dekat dengan wafer, proses pengeringan akan berlangsung lebih cepat. Namun, hal ini berisiko menciptakan “titik panas”. Kita perlu menemukan jarak yang tepat agar semuanya berjalan secara merata.
Kami membuat sistem ini sebagai pengganti oven-oven lama yang membutuhkan energi yang banyak. Dengan demikian, kita pun memiliki lebih banyak ruang, dan biaya operasional pun berkurang. Sangat sederhana.