Fermare i frammenti: mantenere pulite le wafer quando le lampade a infrarossi smettono di funzionare
Siate onesti: in una fabbrica di semiconduttori, il guasto di una lampada non è semplicemente un “problema tecnico”. È un vero disastro. Un attimo prima tutto va bene, e l’attimo dopo ci sono frammenti di quarzo e particelle metalliche che cadono sulle wafer. Non si tratta soltanto di una interruzione della produzione: bisogna anche occuparsi della pulizia delle superfici interessate, oltre a eliminare i prodotti danneggiati. È davvero un incubo.
Quando si lavora a pieno carico, quelle lampade a infrarossi subiscono molte sollecitazioni. Noi le progettiamo in modo che possano resistere a tali sollecitazioni, così da evitare che la sala di produzione diventi un vero disastro.
Il problema dello shock termico
I tubi di quarzo ad alta potenza operano in condizioni estreme di variazione di temperatura. Se la lampada si raffredda troppo velocemente o viene esposta a temperature troppo elevate, il quarzo può rompersi. È proprio qui che inizia il caos.
Per risolvere questo problema, utilizziamo quarzo sintetico di alta purezza. Questo materiale aumenta il punto di ammorbidimento del quarzo, rendendolo più resistente agli shock termici. In pratica, la lampada può resistere a cicli ripetuti senza rompersi.
Un ulteriore sistema di sicurezza
Non ci affidiamo soltanto alla resistenza del vetro. Utilizziamo un sistema a doppia parete per evitare contaminazioni. L’elemento riscaldante viene avvolto in un rivestimento chimicamente inerte che assorbe il calore. Se il tubo di quarzo interno dovesse rompersi, questo rivestimento cattura i frammenti, impedendo così che il vetro si sparga sulle wafer.
Un consiglio utile: controllate i supporti di montaggio. Se sono allentati, vibrano, e le vibrazioni possono causare la rottura dei tubi. Assicuratevi che siano ben fissati.
Equilibrio tra potenza e raffreddamento
Progettiamo queste lampade per consentire un’elevata densità di calore, poiché sappiamo che è necessario mantenere un alto ritmo di produzione. Tuttavia, c’è un problema: quando si invia troppa energia in uno spazio ridotto, i sigilli presenti sui tubi subiscono grande pressione. Utilizziamo sigilli rinforzati per evitare perdite di gas.
Ricordate: se fate funzionare queste lampade al massimo delle loro capacità, i sistemi di aspirazione e raffreddamento devono essere in grado di far fronte a tale stress. Se il calore non trova dove dissiparsi, le lampade non dureranno a lungo.