Perché abbandoniamo l’uso dell’aria calda a favore delle lampade a raggi infrarossi senza ozono
Siamo onesti: affidarsi all’aria calda per il trattamento dei semiconduttori è un metodo inefficiente. È semplicemente troppo lento. In pratica, si riscalda l’aria, nella speranza che questa possa riscaldare eventualmente il componente da trattare. Si tratta di un processo intermediario che richiede molto tempo.
Passare alle lampade a raggi infrarossi senza ozono cambia completamente le cose. Invece di aspettare che l’aria si riscaldi, si utilizza la radiazione stessa. L’energia colpisce direttamente il substrato, senza alcun intermediario. Solo calore.
I problemi legati alla convettione
Se avete già lavorato con sistemi che utilizzano aria calda, sapete bene quali siano i problemi: i tempi di riscaldamento sembrano infiniti, e il ritardo termico è davvero insopportabile. Senza parlare della geometria del componente da trattare: se ne cambia la forma, bisogna impiegare ore per ricalibrare il flusso d’aria.
Le nostre lampade a raggi infrarossi eliminano questi problemi. Utilizziamo una miscela specifica di quarzo e emettitori filtrati per bloccare la lunghezza d’onda di 185 nm. Perché? Perché è proprio questa lunghezza d’onda che trasforma l’ossigeno in ozono. In una stanza pulita, l’ozono rappresenta un vero disastro: contamina tutto e danneggia i wafer sensibili. Bloccando questa lunghezza d’onda, manteniamo il processo pulito.
Cosa significa questo per il vostro lavoro
Il riscaldamento a raggi infrarossi permette di agire in modo preciso: è possibile riscaldare soltanto una zona specifica del wafer, senza dover riscaldare l’intera camera. È veloce… davvero veloce.
Secondo la nostra esperienza, passare alle lampade a raggi infrarossi può ridurre i tempi di riscaldamento del 40% al 70%. Si ottiene così una grande densità di calore proprio dove è necessario, e si può regolare la temperatura in tempi molto brevi.
L’unica “pecca” (perché c’è sempre qualcosa…)
Non basta semplicemente inserire una lampada a raggi infrarossi in un vecchio forno a convettione per ottenere dei risultati buoni. I raggi infrarossi richiedono una linea di visibilità perfetta. Se il componente ha solchi profondi o una forma complessa, si verificano problemi legati all’oscuramento delle zone non visibili dalla luce. Per risolvere questo problema, è necessario utilizzare più lampade o riflettori per far arrivare l’energia nelle zone difficili da raggiungere.
Un altro aspetto importante: poiché il trasferimento di calore avviene molto rapidamente, i controller devono essere in grado di reagire altrettanto velocemente. Se si utilizzano circuiti PID lenti, si rischia di superare la temperatura desiderata, causando danni al substrato. È quindi necessario un sistema in grado di reagire rapidamente come le lampade stesse.