Perché passiamo all’uso della tecnologia IR per la cottura delle wafer
Parliamo del vecchio metodo di lavoro. Per anni abbiamo utilizzato forni a convezione e sostanze chimiche aggressive per asciugare le wafer. Funzionava, certo, ma era un metodo inefficiente.
Oggigiorno, essere “verdi” o privi di piombo non è solo una questione legata alle normative vigenti. Si tratta di eliminare quei composti organici volatili dannosi e di ridurre l’impronta carbonica all’interno delle stanze pulite. È semplicemente logico farlo.
Come funziona davvero la tecnologia IR
Pensate a un forno a convezione: si riscalda l’aria, che poi riscalda la wafer. È un processo lento e inutile dal punto di vista energetico.
Le lampade IR invece funzionano diversamente: utilizzano radiazioni elettromagnetiche per riscaldare direttamente la superficie della wafer. Non c’è bisogno di riscaldare un enorme contenitore metallico e l’aria circostante.
Il risultato? Il processo di cottura avviene quasi istantaneamente. La produttività aumenta, mentre i costi energetici diminuiscono. È davvero vantaggioso.
Ottenere risultati ottimali senza tossine
Con i metodi tradizionali, per la cottura delle wafer era necessario utilizzare solventi che dovevano essere distrutti tramite calore estremo.
Con la tecnologia IR, invece, possiamo regolare la lunghezza d’onda delle radiazioni. Possiamo concentrare il calore esattamente nelle parti del fotoresist o dell’adeguante che ne hanno bisogno, senza danneggiare il substrato di silicio stesso.
Grazie alla precisione di questa tecnologia, non ci sono emissioni di gas tossici nell’ambiente. Inoltre, possiamo smettere di utilizzare stabilizzanti a base di piombo nei prodotti utilizzati per la cottura. È un modo più pulito per lavorare.
I compromessi (perché niente è perfetto)
Ecco però il problema: le lampade IR ad alta intensità producono molto calore in uno spazio molto piccolo. Se il sistema di raffreddamento non è adeguato, si possono verificare problemi: la wafer può deformarsi o addirittura i connettori delle lampade possono fondersi.
C’è sempre un equilibrio da trovare tra velocità e uniformità. Se si avvicina troppo la lampada alla wafer, la cottura avviene più velocemente… ma si corre anche il rischio di creare “punti caldi”. Bisogna quindi trovare il giusto equilibrio, mantenendo una distanza di sicurezza precisa.
Abbiamo progettato questi sistemi come sostituti dei vecchi forni energivori. In questo modo si ottiene più spazio disponibile e meno costi economici. Semplice, no?