ウェーハ処理におけるチューブの故障という悪夢を止めよう
高負荷の運転中にIRランプが破損したことがある人なら、単に停止時間だけが問題ではないことを知っているでしょう。ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハに降り注ぎ、それはまさに汚染の大惨事です。
私たちは、このような事態を防ぐ方法を見つけるために多くの時間を費やしてきました。
なぜアルミニウム製の反射器が重要なのか
私たちは、単に熱を方向づけるためだけでなく、高純度のアルミニウム製の反射器を使用しています。これはまるでセーフティネットのようなものです。ランプを精密に加工されたアルミニウム製のトレイに収めることで、物理的な障壁を作り出しています。もしチューブが故障しても、その破片のほとんどがトレイに捉えられ、他の場所に散乱するのを防ぎます。
また、この反射器の形状によって、より効率的に光子を利用できます。より低い電力で目標の温度に到達できるのです。これは大きなメリットです。なぜなら、石英にかかる熱ストレスが少なくなり、結果としてチューブの寿命が長くなるからです。
清潔を保つこと
また、ランプとウェーハの間には保護用のシールドも設置しています。これは簡単な対策ですが、多くの問題を解決してくれます。もしランプが破損しても、シールドが破片を受け止めてくれます。そのため、チャンバー全体を何時間もかけて掃除する必要はありません。
また、接続部にも細心の注意を払っています。緩んだ接続部によってアークが発生し、チューブが早期に破損する例をたくさん見てきました。それを防ぐために、振動にも耐えられるしっかりとしたマウントを使用しています。
コスト面でのデメリット
ただし、反射器やシールドを追加すると、システムの重量が増します。そのため、通常のランプを使用する場合と比べて、温度を上げる際にわずかな遅れが生じることがあります。そのため、PIDの調整を行い、余分な重量に対応する必要があります。
しかし、ウェーハが安全であるという安心感のためには、それほど大きな代償ではありません。