ファブのIRランプに適したクォーツガラスシールドの選び方
半導体の乾燥処理を行う場合、現在ではIR硬化が最も理想的な方法です。なぜでしょうか？それは、有害な溶剤を使わずに済み、また、莫大な電力を消費することもないからです。
しかし、注意点があります。IRランプをそのまま放置してはいけません。そこで役立つのがクォーツガラスシールドです。これにより、ランプが汚れるのを防ぎ、ウェーハに与えられる熱の量を適切に調整できます。
材料について
私たちは高純度の熔融石英を使用します。これは、短波長のIR放射線をそのまま通過させつつ、熱を吸収しないからです。普通のガラスを使った場合、温度が上がるとすぐに破損したり、ウェーハを硬化させるのに必要な波長の光を遮断してしまいます。
このシールドは、まるでボディガードのようなものです。不要な粒子や化学物質がランプの内部に入るのを防ぎます。これがなければ、ランプは本来よりも早く壊れてしまいます。
鉛フリー化の利点
古い型の乾燥オーブンは、巨大な対流型の装置です。速度が遅く、操作も面倒で、電力も多く消費されます。
一方、IRは直接放射されるため、瞬時に対象物に到達します。その効率の良さから、従来使われていた有毒な鉛系の安定剤や添加剤を使う必要がありません。これは、よりクリーンな作業方法です。
設置の難しさ
これらのシステムを接続する際、ランプとクォーツシールドの間の距離が非常に重要です。
距離が近すぎると、熱衝撃によってクォーツが割れてしまいます。逆に距離が遠すぎると、熱密度が低下し、処理速度が遅くなります。バランスを取るのが難しいのです。
また、クォーツは熱に強い反面、脆い性質を持っています。設置時に少しでも間違えると、クォーツが割れてしまいます。
必ず、取り付けブラケットに振動がないか確認しましょう。もし工場の床が少しでも揺れるようであれば、振動を抑えるための支持材を使用しましょう。そうすれば、壊れたシールドを交換する手間が省け、エネルギーの無駄遣いも少なくなります。これにより、環境監視機関も満足するでしょう。