ウェーハをきれいに保つために：ランプの破損に関する真実 大量のウェーハを生産している場合、その恐ろしい状況はよくご存知でしょう。ランプが破損してしまうのです。 問題は単に停止時間だけではありません。実際には、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。一度破損すれば、全ての...

Role ファブフロアでは、ウェーハ乾燥やフォトレジストベーク中の0.1℃のドリフトが、クリティカルディメンションを規格外にしてしまうのに十分です。結果はご存知の通り—スクラップが発生し、ラインは停止します。検査ツールのヒーターは追加装置ではなく、プロセスを確実に維持するための熱的アンカーであり、...