ウェーハをきれいに保つために：ランプの破損に関する真実
大量のウェーハを生産している場合、その恐ろしい状況はよくご存知でしょう。ランプが破損してしまうのです。
問題は単に停止時間だけではありません。実際には、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。一度破損すれば、全てのウェーハが廃棄処分になってしまいます。これは本当に大惨事です。
私たちは、このような事態を防ぐ方法を何度も検討してきました。主に、ランプの構造を見直すことによってです。
熱に対処する
封筒部分には高純度の融成石英を使用します。なぜなら、この素材は高温に耐えられるからです。温度が急激に変化すると、ほとんどの材料は割れてしまいます。
しかし、高温は密封部分に大きな圧力をかけます。破損を防ぐために、保護用のケースや特別なコーティングを追加します。これはまるでセーフティネットのようなものです。内部のチューブが壊れても、破片はケースの中に留まり、製品には届きません。
実際に重要な点
ランプと装置の間の密封部分がよく問題になります。しっかりとした密着性を得るために、精密なエンドキャップを使用します。
ただし、注意が必要です。ランプの出力を最大限に設定すると、接続部が非常に熱くなります。冷却風がしっかり機能しているかを確認する必要があります。接続部が過熱すると、密封性が低下し、破損の原因となります。
現実的なトレードオフ
ただし、保護用のケースやコーティングを追加すると、IRエネルギーの一部がウェーハに到達しなくなります。つまり、伝送効率が少し低下します。
これを解決するためには、出力を上げるか、ウェーハを少し長く保持する必要があります。これは単純なトレードオフです。わずかに処理時間が遅くなっても、破損による損失を避けることができます。
最後に、石英の状態にも注意しましょう。キズや変色がないか確認してください。石英が変質し始めると、強度が低下します。破損する前に早めに交換しましょう。