청정실 내에서 사용되는 트롤리를 과도하게 가열하는 것을 그만두세요.
반도체 웨이퍼를 이동시킬 때는 적절한 온도를 유지하는 것이 매우 중요합니다. 오랫동안 사용된 방법은 대류식 히터를 이용하는 것이었습니다. 하지만 문제는 이 방식으로는 주변의 모든 것이 함께 가열된다는 점입니다. 결국 트롤리는 마치 거대한 라디에이터와 같아져서, 작업자들이 트롤리의 외부 벽에 닿기만 해도 화상을 입을 위험이 있습니다.
그래서 우리는 공기와 싸우는 대신, 방향성이 있는 적외선 히팅 방식을 사용하기로 결정했습니다.
작동 원리
마치 손전등과 비슷하지만, 열을 내는 방식입니다. 상자 안의 공기 전체를 따뜻하게 하는 대신, 적외선 램프는 전자기파를 직선으로 방출합니다. 그 에너지는 목표물에 도달할 때까지 열로 변환되지 않습니다.
램프의 위치를 적절히 조절하고 반사판을 사용하면, 그 열을 웨이퍼가 필요로 하는 곳에 직접 전달할 수 있습니다. 내부 벽은 낭비되는 에너지를 흡수하지 않으므로, 트롤리의 바디는 차갑게 유지됩니다. 웨이퍼가 필요로 하는 곳에만 열이 전달되는 셈입니다.
단점들
물론 완벽한 방법은 없습니다. 보통 단파 석영 램프를 사용합니다. 이 램프는 온도를 매우 빠르게 올릴 수 있다는 장점이 있습니다. 트롤리의 전원에 연결하기만 하면 됩니다. 하지만 단점은 그 열이 매우 집중된다는 것입니다. 만약 반사판이 제 위치에서 벗어나거나, 트롤리에 웨이퍼가 없는 상태에서 사용한다면, 그 에너지가 내부 벽에 부딪힐 수 있습니다. 내부 패널이 해당 파장을 견딜 수 있도록 해야 합니다. 그렇지 않으면 트롤리가 손상될 수 있습니다.
왜 이 방법이 좋은가?
가장 큰 장점은 트롤리의 외부에 있는 무거운 단열재를 사용할 필요가 없다는 것입니다. 이로 인해 트롤리의 크기가 작아지고, 청정실의 공기 흐름도 원활해집니다. 게다가 작업자들도 화상을 입을 걱정 없이 장비를 다룰 수 있습니다. 이로 인해 전체적인 구조가 더 간단해지며, 몇 개의 웨이퍼를 이동시킨다는 이유로 HVAC 시스템을 과도하게 사용할 필요도 없습니다.