Bagaimana untuk mendapatkan haba yang maksimum pada wafer anda
Ketika memanaskan wafer silikon, setiap watt tenaga sangat penting. Kebanyakan reflektor biasa tidak efektif – ia menyerap terlalu banyak radiasi inframerah atau memantulkannya ke arah yang tidak ditentukan. Pada dasarnya, anda membayar untuk tenaga yang sebenarnya tidak sampai ke wafer tersebut.
Itulah sebabnya kami menggunakan reflektor yang dilapisi emas dan lampu inframerah berbahan serat karbon. Cara ini dapat mengelakkan kebocoran tenaga.
Mengapa emas?
Bukan kerana emas kelihatan mewah saja. Sebenarnya, emas mampu memantulkan cahaya inframerah dengan sangat baik – melebihi 98%. Anda boleh menggunakan aluminium untuk menjimatkan sedikit wang, tetapi aluminium akan oksidasi dari masa ke masa, sehingga kemampuan pantulannya berkurangan. Emas pula tidak berlaku begitu; ia kekal stabil.
Apabila digabungkan dengan reflektor berbentuk parabola atau elips yang dilapisi emas bersama-sama dengan elemen serat karbon, ia akan menghasilkan sinar tenaga yang tertumpu dengan baik. Dengan cara ini, haba hanya akan sampai ke permukaan wafer sahaja, bukannya seluruh ruang vakum.
Peralatan dan kuasa
Lampu serat karbon sangat berkuasa. Ia mampu mengendalikan densiti tenaga yang jauh lebih tinggi berbanding lampu tungsten biasa. Ini bermakna suhu dapat dinaikkan dengan cepat. Jika anda ingin melakukan proses doping atau annealing yang tepat, anda memerlukan profil suhu yang tepat. Ini sangat penting.
Namun, perlu berhati-hati dengan bekalan kuasa. Lampu ini memerlukan arus yang sangat besar. Jika kabel yang digunakan tidak cukup kuat untuk menanggung beban tersebut, voltan akan turun. Akibatnya, pemanasan tidak akan merata lagi, dan ini akan menyebabkan masalah. Kami biasanya menyarankan penggunaan kabel yang cukup kuat agar haba tidak masuk ke titik sambungan.
Masalah sebenar
Emas memang bagus, tetapi ia lembut. Jika pasukan penyelenggaraan menggunakan alat pembersih yang kasar, lapisan emas tersebut akan terkelupas. Apabila itu berlaku, kecekapan pemanasan akan menurun, dan suhu permukaan wafer akan turun dengan cepat.
Satu lagi nasihat: lampu ini menghasilkan haba yang sangat tinggi. Oleh kerana densitinya sangat tinggi, boleh berlaku kawasan panas yang terlalu tinggi. Pastikan sistem penyejukan anda mampu menanggung tenaga yang tidak sampai ke wafer. Jika tidak, lampu tersebut boleh rosak, dan itu merupakan masalah yang tidak ingin dialami oleh sesiapa pun.