Berhenti gunakan kereta dorong di bilik bersih sebagai pemanas ruang
Ketika kita memindahkan wafer semikonduktor, adalah penting untuk mengekalkan suhu wafer tersebut pada tahap yang sesuai. Untuk waktu yang lama, cara yang digunakan ialah dengan menggunakan pemanas konvektif. Masalahnya ialah pemanas ini akan memanaskan segala benda di sekelilingnya. Akibatnya, kereta dorong tersebut akan bertindak seperti radiator gergasi, dan para pekerja berisiko cedera akibat terkena haba tersebut.
Jadi, kami memutuskan untuk berhenti menggunakan kaedah ini dan beralih kepada penggunaan pemanas inframerah yang lebih efektif.
Bagaimana ia berfungsi
Bayangkan saja ia seperti lampu suluh, tetapi yang menghasilkan haba. Daripada memanaskan udara di dalam kotak tersebut, lampu inframerah akan menghantar tenaga elektromagnetik secara lurus ke sasaran. Tenaga tersebut hanya akan bertukar menjadi haba apabila ia mengenai sasaran yang dituju. Dengan meletakkan lampu tersebut pada posisi yang tepat dan menggunakan reflektor, kita dapat mengarahkan haba tersebut ke tempat yang diperlukan oleh wafer tersebut. Dinding dalaman tidak akan menyerap tenaga yang tidak diperlukan, dan badan kereta dorong akan tetap sejuk. Haba tersebut hanya akan sampai ke tempat yang diperlukan sahaja.
Kelemahannya (kerana tiada yang sempurna)
Kami biasanya menggunakan lampu kuarsa gelombang pendek. Ia sangat baik kerana mampu meningkatkan suhu dengan cepat. Cukup sambungkannya ke sistem kuasa kereta dorong, dan anda akan mendapat kawalan suhu yang tepat. Namun, masalahnya ialah haba yang dihasilkan sangat tinggi. Jika reflektor tersebut tidak berada pada posisi yang betul, atau jika kereta dorong digunakan tanpa membawa beban, haba tersebut akan mengenai dinding dalaman. Anda perlu pastikan bahawa lapisan dalaman kereta dorong mampu menahan gelombang haba tersebut, otherwise, kereta dorong tersebut akan rosak.
Mengapa ini memudahkan kerja
Yang paling baik ialah kita tidak perlu lagi menggunakan lapisan penebat yang tebal di bahagian luar kereta dorong. Ini membolehkan kereta dorong tersebut mempunyai saiz yang lebih kecil, yang sangat baik untuk aliran udara di bilik bersih. Selain itu, para pekerja dapat mengendalikan peralatan tersebut tanpa perlu risau tentang kemungkinan terbakar. Ini menjadikan proses penggunaan kereta dorong lebih mudah, dan tidak perlu menggunakan sistem HVAC untuk menyejukkan bilik hanya kerana kita sedang memindahkan beberapa wafer sahaja.