Stop de schade: houd je wafers schoon wanneer de IR-lampen het begeven
In een productielijn voor halfgeleiders kan één defecte lamp al voor grote problemen zorgen. Ik bedoel hiermee wanneer één IR-lamp kapotgaat. Hierdoor ontstaan er niet alleen gebroken glasdeeltjes, maar ook metalen deeltjes die op je ondergronden terechtkomen. Het is een nachtmerrie.
Daarom bouwen we onze verwarmers speciaal zo dat deze deze extra schade voorkomen, nog voordat deze zich kan voordoen.
De werkelijkheid achter het falen van lampen
IR-lampen met hoge vermogens moeten veel stress verdragen. Ze moeten voortdurend vechten tegen de hitte van het gloeiende filament en de koude uiteinden van de lamp. Als het kwarts niet sterk genoeg is, zal het onder druk barsten.
Wij gebruiken geen goedkope materialen. We gebruiken synthetisch kwarts met dikke wanden en hoge zuiverheid. Dit materiaal kan de expansie aan zonder te vervormen, waardoor het risico op gebreken wordt verminderd.
Een veiligheidsmaatregel
Maar zelfs het beste kwarts kan falen. Je kunt niet alles afhankelijk maken van de sterkte van een lamp. Daarom hebben we een fysiek schild toegevoegd. Denk hierbij aan een soort ‘fail-safe’. Als een lamp kapotgaat, vangt het schild de brokstukken op. Hierdoor blijven je wafers schoon.
We hebben ook goed gekeken naar de elektrische kant van de zaak. Losse verbindingen kunnen hittepunten veroorzaken die het kwarts beschadigen. We hebben deze vervangen door precisieverbindingen, zodat alles koel en stabiel blijft.
De nadelen
Er is echter een nadeel: door een schild tussen de warmtebron en de wafers te plaatsen, verdwijnt een deel van de directe straling. Om het productievolume weer op het gewenste niveau te krijgen, moet je misschien het vermogen van de lamp verhogen of de tijd dat de lamp brandt aanpassen. Zorg ervoor dat je stroomvoorziening de extra belasting aankan. Anders kan er een daling van de spanning optreden, waardoor de warmteverdeling ongelijkmatig wordt – en dat leidt weer tot defecte producten.