Op de productielijn is het verhitten van de fotoresist geen gewone stap. Het is eerder een ‘thermische ankerpunt’ dat voorkomt dat de controle over de belangrijke dimensies uit de hand loopt. Als er een verschil van 2°C optreedt tijdens het verhiten, dan wordt de hele procesflow verstoord. De productielijn probeert dan de vereiste specificaties na te streven, in plaats van deze te behouden.
Wij hebben onze apparaten voor het verhitten van de fotoresist zo ontworpen dat dit ‘ankerpunt’ altijd wordt behouden, shift na shift.
Wat technisch gezien belangrijk is: Wij maken gebruik van near-infraroodverwarming om een uniforme temperatuur over het oppervlak van de wafer te bereiken. Hierdoor blijft de temperatuur binnen nauwe tolerantiebenaderingen. Het profiel van de verwarming is afgestemd op de fotoresist: er wordt snel energie geleverd, zonder dat de wafer beschadigt raakt. De temperatuur blijft constant over het hele oppervlak van de wafer, en er is een snelle hersteltijd tussen verschillende batches.
Het voordeel is dat de verwarming zich gedraagt als een vaste parameter, in plaats van een variabel element.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie: Het verhitten van de fotoresist bepaalt hoe goed de oplossingen uit de fotoresist kunnen worden verwijderd en hoe goed de fotoresist zich aan het oppervlak van de wafer kan hechten. Met deze apparaten wordt een uniforme temperatuur bereikt, kan er op een schone manier gewerkt worden, en ontstaan er geen ongewenste deeltjes. Hierdoor blijft de opbrengst hoog en daalt het aantal defecte producten.
Het systeem werkt 24/7 met voorspelbare resultaten. Hierdoor zijn onvoorziene storingen minder vaak. U besteedt minder tijd aan het aanpassen van de instellingen en meer tijd aan het leveren van kwalitatief goede producten.
Wat belangrijk is om juist te doen: De NIR-apparaten moeten zorgvuldig worden geïntegreerd in de productiestationen: ze moeten goed worden uitgelijnd ten opzichte van het oppervlak van de wafer, er moet goed gekoeld worden, en er moet bescherming zijn tegen schade aan de omringende componenten. Kwaliteitsvolle stroomvoorziening en een goed thermisch beheerssysteem zijn essentieel om de gewenste uniformiteit te behouden.
Wij bieden richtlijnen voor de installatie, zodat de apparaten vanaf dag één volgens de vereisten werken. We passen ook het systeem aan op de geometrie van uw productiestation en de gewenste productiecapaciteit.