Na linii produkcyjnej termiczne odchylenia nie są tylko parametrem, który należy monitorować – są one bezpośrednią przyczyną spadku jakości produktu. Odchylenie o 0,5°C podczas procesu delikatnego suszenia zdjętkującego może wpłynąć negatywnie na wymiary elementów półprzewodnikowych. Jeśli w filmie pozostanie rozpuszczalnik, powstaną niepożądane struktury na jego powierzchni, co oznacza konieczność wyrzucenia takich elementów.
Stworzyliśmy naszą linię podgrzewania płytek półprzewodnikowych tak, aby zapobiec tym problemom, dokładnie w tych miejscach, gdzie kluczowe są procesy termiczne związane z formowaniem i czyszczeniem płytek.
Co naprawdę ma znaczenie Używamy emiterów krótkofalowego promieniowania podczerwonego, aby energię cieplną dostarczyć bezpośrednio do płytki – szybko, skutecznie i powtarzalnie. W całym zakresie temperatur – od 60°C przy delikatnym suszeniu, po 120°C przy intensywnym suszeniu – jednolitość temperatury na powierzchni płytki pozostaje na poziomie ±0,1°C.
Kontrola wieloobszarowa w trybie zamkniętego obiegu umożliwia to osiągnięcie, kompensując efekty starzenia się emiterów oraz fluktuacje napięcia. Platforma jest przygotowana do pracy w środowiskach typu Cleanroom klasy 1–100, przy czym podczas procesów termicznych nie powstają żadne cząsteczki, co jest potwierdzone w trakcie realizacji procesów.
Dlaczego ta technologia jest przydatna w litografii i procesach czyszczenia W litografii regularne suszenie zdjętkującego filmu zapewnia jego stabilność. Dzięki temu można lepiej kontrolować wymiary elementów półprzewodnikowych, co zmniejsza liczbę koniecznych korekt.
Podczas suszenia płytek ta sama platforma termiczna pomaga usunąć rozpuszczalniki bez powstawania defektów na powierzchni płytki – brak plam wodnych, które mogłyby powodować problemy elektryczne.
Szybkie dostosowanie temperatury oraz efektywne wykorzystanie energii skracają czas realizacji procesu. Platforma została opracowana tak, by zapewniać nieprzerwaną pracę przez całą dobę, więc jakość produktu pozostaje stała, a harmonogram konserwacji przewidywalny.
Detale, które chronią przed problemami Użycie emiterów krótkofalowego promieniowania podczerwonego wymaga ostrożnego zarządzania energią cieplną w przypadku materiałów wrażliwych na ciepło. Doręczamy biblioteki parametrów dostosowanych do poszczególnych rodzajów filmów, a nasi specjaliści współpracują z klientem nad dostosowaniem czasu ekspozycji i temperatury.
Instalacja wymaga dedykowanego zasilania 240V oraz odpowiedniego układu odprowadzania powietrza, aby utrzymać właściwe ciśnienie w środowisku Cleanroom. Dzięki temu energia cieplna może być efektywnie wykorzystywana, a ryzyko powstawania problemów jest minimalne.