Dlaczego używamy wodoodpornych lamp podczerwieni w linii produkcyjnych półprzewodników
Porozmawiajmy o procesie mycia i suszenia w produkcji półprzewodników. Jeśli pracowaliście na takiej linii, wiecie, że to właśnie ten etap zwykle spowalnia cały proces. Jest to punkt krytyczny.
Aby to naprawić, używamy wodoodpornych lamp podczerwieni. To najlepsze rozwiązanie, jeśli chodzi o wysuszenie płytki krzemowej z stanu „całkowicie mokrej” do stanu „zupełnie suchej”, bez uszkodzenia jej powierzchni ani pozostawienia jakichkolwiek zanieczyszczeń.
Problemy z tradycyjnymi piecami
Kiedyś ludzie używali pieców konwekcyjnych. Ale pomyślcie przez chwilę: trzeba nagrzać ogromną ilość powietrza tylko po to, by wysuszyć małą płytkę krzemową. To marnotrawstwo energii.
Lampy podczerwieni działają inaczej – wykorzystują promieniowanie elektromagnetyczne, aby bezpośrednio oddziaływać na wilgoć na powierzchni płytki. Unikają w ten sposób użycia powietrza. Ponieważ są tak efektywne, nie potrzebujemy tych starych, szkodliwych rozpuszczalników chemicznych czy dodatków na bazie ołowiu. To po prostu czysta, bezpośrednia energia.
Radzenie sobie z wilgocią
Tu pojawia się problem: lampy te znajdują się tuż po stacji mycia. To oznacza, że są ciągle narażone na wilgoć i parы chemiczne. To brutalne warunki.
Jeśli zwykła rurka kwarcowa zostanie narażona na wodę w momencie, gdy jest bardzo gorąca, natychmiast się pęknie. Aby temu zapobiec, używamy specjalnych opakowań z kwarcu oraz szczelnych elementów zamknięcia. Dzięki temu wilgoć nie dostaje się do żarnika, więc lampa nie psuje się.
Wybieramy również lampy podczerwieni o krótkiej długości fali. Dlaczego? Ponieważ one mogą przeniknąć głębiej w strukturę płytki i szybko usunąć wilgoć z jej powierzchni. To szybkie rozwiązanie. I to oznacza, że urządzenia zajmują znacznie mniej miejsca na podłodze.
Wada: kontrola ciepła
Istnieje jednak jeden problem – wysoka intensywność lamp podczerwieni generuje dużo ciepła. Nie można ich po prostu podłączyć i odeszła.
Jeśli nie masz efektywnego systemu chłodzenia, obudowa urządzenia może się zdeformować. Co gorsza, lampy mogą szybciej się psuć z powodu nadmiaru ciepła. Trzeba więc dobrze zaplanować system chłodzenia, inaczej tylko marnujesz pieniądze na nowe części.
Projektujemy te lampy tak, aby mogły zastąpić istniejące elementy. Poprzez dostosowanie długości fali do sposobu, w jaki woda wchłania ciepło, możemy idealnie wysuszyć płytkę krzemową, unikając przy tym przegrzania samego substratu. To po prostu działa.