Por que estamos abandonando o uso de ar quente em favor de lâmpadas infravermelhas sem ozônio
Sejamos honestos: contar com o ar quente no processo de fabricação de semicondutores é uma solução lenta e ineficiente. Na verdade, você está apenas aquecendo o ar, na esperança de que esse ar, por sua vez, aqueça o componente desejado. É um processo intermediário que desperdiça muito tempo.
A substituição pelo uso de lâmpadas infravermelhas sem ozônio muda completamente a situação. Em vez de esperar que o ar aqueça o componente, você utiliza radiação para aquecê-lo diretamente. Não há necessidade de intermediários – apenas calor.
Os problemas causados pela convecção
Se você já trabalhou com sistemas de ar quente, sabe bem como é. Os períodos de aquecimento parecem durar uma eternidade, e o atraso térmico é um verdadeiro pesadelo. E nem falo da geometria do componente… Se você mudar a forma do componente, precisará passar horas reconfigurando o fluxo de ar.
Nossas lâmpadas infravermelhas eliminam esses problemas. Usamos uma mistura específica de quartzo e emissores filtrados para bloquear a faixa de onda de 185 nm. Por quê? Porque é nessa faixa de onda que o oxigênio se transforma em ozônio. Em uma sala limpa, o ozônio é um desastre – ele contamina tudo e danifica os chips sensíveis. Ao bloqueá-lo, mantemos o processo limpo.
O que isso realmente faz pelo seu fluxo de trabalho
O aquecimento por infravermelho permite que você aqueça apenas a área específica do chip, sem precisar aquecer toda a câmara. É rápido. Muito rápido.
Pela nossa experiência, a utilização de lâmpadas infravermelhas pode reduzir o tempo de aquecimento em 40% a 70%. Você obtém uma densidade de calor elevada exatamente onde é necessário, e pode aumentar ou diminuir a temperatura em apenas um instante.
O “problema” (pois sempre existe algum)
Você não pode simplesmente colocar uma lâmpada infravermelha em um forno convencional e considerar o problema resolvido. O aquecimento por infravermelho requer visão direta. Se o componente tiver ranhuras profundas ou uma forma 3D complexa, haverá áreas que não serão aquecidas. Para resolver isso, será necessário usar várias lâmpadas ou refletores para direcionar a energia para essas áreas.
Mais um ponto importante: como a transferência de calor acontece muito rapidamente, seus controladores precisam ser capazes de reagir com a mesma velocidade das lâmpadas. Se você usar controle PID lento, acabará superando a temperatura desejada, causando danos ao componente. Você precisa de um sistema capaz de reagir tão rapidamente quanto as lâmpadas.