Введение
Правда в том, что мы производим компоненты для нагревателей резиста в технологии EUV по одной простой причине – чтобы обеспечить бесперебойную работу вашего оборудования для литографии. Никаких перебоев в работе, никаких проблем.
Требования к качеству очень высоки, допуски минимальны, а условия эксплуатации сложные. Поэтому мы гарантируем качество наших продуктов в течение 24 месяцев. А если что-то пойдет не так, мы готовы оказать помощь в течение 24 часов. Ведь когда производственная линия останавливается, каждая минута стоит вам денег.
Технические характеристики
Для нагрева резиста в технологии EUV крайне важен точный контроль температуры. Поэтому наши нагреватели работают при напряжении 400 В и мощности 2500 Вт. Такое сочетание высокого напряжения и мощности позволяет быстро достигать нужной температуры, что необходимо для стабильной работы резиста.
Мы выбрали длину трубки 300 мм – это позволяет ей идеально подходить для использования в стандартных устройствах нагрева резиста. Это значит, что ее можно заменить без каких-либо изменений в конструкции устройства. Таким образом, вы можете быстро вернуться к работе.
Материалы и конструкция
Внутри нагревателя находится галогеновый элемент с коротковолновым излучением, заключенный в кварцевую оболочку. Кварц отлично справляется с быстрым нагревом и охлаждением, а также сохраняет чистоту даже в вакууме. Коротковолновое излучение фокусирует энергию именно там, где это необходимо, минимизируя количество лишнего излучения.
А специальное отражающее покрытие направляет инфракрасную энергию прямо на цель, что способствует лучшему передаче тепла и снижает потери энергии.
Контактор R7s обеспечивает надежное соединение всех компонентов, даже при вибрациях. Его легко подключить, что облегчает процедуру установки и предотвращает возникновение „горячих точек“ на соединениях.
Применение и преимущества
Благодаря этой конструкции достигается высокая плотность тепла именно там, где это необходимо. Это позволяет быстро и точно контролировать температуру.
Гарантия качества в течение 24 месяцев – это не просто слова. Она обеспечивается благодаря строгому контролю процесса производства и тестированию в реальных условиях. Таким образом, вы можете спокойно планировать процедуры технического обслуживания.
А если что-то пойдет не так, наша служба технической поддержки готова помочь в течение 24 часов.
Следует помнить, что работа при напряжении 400 В и мощности 2500 Вт требует эффективной системы охлаждения. Система терморегуляции вашего оборудования должна быть на высоком уровне. Мы предоставляем нагреватели, а также необходимую поддержку, чтобы обеспечить стабильную работу вашего процесса.