Почему мы отказываемся от использования горячего воздуха в пользу инфракрасных ламп без озона
Давайте будем честны: использование горячего воздуха в процессе обработки полупроводников — это неэффективный способ. Этот процесс слишком медленный. На самом деле мы просто нагреваем воздух в надежде, что он в конечном итоге нагреет деталь. Это своего рода посреднический процесс, который тратит массу времени.
Переход на использование инфракрасных ламп без озона меняет всю ситуацию. Вместо ожидания, пока воздух нагреется, мы используем излучение. Энергия попадает прямо на поверхность детали. Никаких посредников — только тепло.
Проблемы, связанные с конвекцией
Если вы работали с системами, использующими горячий воздух, вы знаете, каковы проблемы: время разогрева кажется бесконечным, а задержка в передаче тепла — настоящим кошмаром. Не стоит даже говорить о форме детали: если изменить её форму, придется тратить часы на перенастройку потока воздуха.
Наші инфракрасные лампы устраняют эти проблемы. Мы используем специальную смесь кварца и фильтры для блокировки излучения с длиной волны 185 нм. Почему? Потому что именно это излучение превращает кислород в озон. В чистой комнате озон представляет серьезную опасность — он загрязняет все вокруг и разрушает чувствительные пластины. Блокируя это излучение, мы сохраняем чистоту процесса.
Как это влияет на вашу работу
Использование инфракрасного нагрева позволяет точечно контролировать процесс нагрева. Вы можете нагревать конкретную точку на пластине, не нужно нагревать всю камеру.
Это очень быстро. По нашему опыту, использование инфракрасных ламп может сократить время нагрева на 40–70%. Вы получаете высокую плотность тепла прямо там, где это необходимо, а также можете быстро увеличивать или снижать температуру.
Есть ли какие-то недостатки?
Конечно, есть некоторые недостатки. Нельзя просто поместить инфракрасную лампу в старую конвективную печь и считать, что все в порядке. Инфракрасное излучение требует прямой видимости на объект. Если у детали есть глубокие желобки или сложная трехмерная форма, возникают проблемы с нагревом тех участков, которые не видны свету. Чтобы решить эту проблему, необходимо использовать несколько ламп или отражатели для направления излучения в нужные зоны.
Еще один недостаток: из-за быстрой передачи тепла контроллеры должны работать так же быстро, как и лампы. Если использовать медленные системы управления, можно превысить желаемую температуру, что приведет к повреждению детали. Необходима система, способная реагировать так же быстро, как и лампы.