Почему мы используем водонепроницаемые инфракрасные лампы на линиях производства полупроводников
Давайте поговорим о процессе промывки и сушки в производстве полупроводников. Если вы работали на такой линии, то знаете, что именно этот этап часто становится причиной замедления всего процесса. Это своего рода «узкий место».
Чтобы решить эту проблему, мы используем водонепроницаемые инфракрасные лампы. Они являются лучшим средством для превращения кристалла из состояния «совершенно мокрого» в состояние «абсолютно сухого», при этом поверхность кристалла не повреждается, а загрязнители не остаются на ней.
Проблемы с традиционными печами
Раньше использовались конвекционные печи. Но подумайте: нужно нагревать огромное количество воздуха лишь для того, чтобы высушить крошечный кристалл. Это пустая трата энергии.
Инфракрасные лампы работают иначе: они используют электромагнитное излучение для непосредственного воздействия на влагу на поверхности кристалла. Таким образом не требуется использования химических растворителей или добавок на основе свинца. Это просто эффективный способ сушки.
Проблема влажности
Здесь возникает сложная ситуация: эти лампы располагаются сразу после станции промывки. Это значит, что они постоянно подвергаются воздействию влажности и химических паров. Это очень сложные условия для работы ламп.
Если обычная кварцевая трубка попадет под воздействие воды при высокой температуре, она мгновенно разломается. Чтобы этого избежать, мы используем специальные кварцевые корпуса и герметичные крышки. Это предотвращает попадание влаги к филаменту, что помогает сохранить целостность лампы.
Мы также используем лампы с коротковолновым излучением. Почему? Потому что оно проникает глубже в поверхность кристалла и за секунды удаляет влагу с его поверхности. Это очень быстро. И это значит, что оборудование занимает гораздо меньше места.
Недостаток: контроль температуры
У инфракрасных ламп есть один недостаток – они выделяют большое количество тепла. Нельзя просто подключить их и забыть о них.
Если у вас нет эффективной системы охлаждения, корпус оборудования может деформироваться. Еще хуже – лампы могут быстро выйти из строя из-за перегрева. Необходимо правильно настроить систему охлаждения, иначе придется тратить деньги на замену запчастей.
Мы разрабатываем такие лампы как замену существующим. Путем настройки длины волны так, чтобы она соответствовала способности воды поглощать тепло, мы можем идеально высушить кристалл, не перегревая сам материал. Это просто работает.