ในกระบวนการลิโธกราฟี แค่มีการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียงครึ่งองศาเดียวก็เพียงพอที่จะทำให้ค่าความหนาของเส้นที่ควบคุมไว้เปลี่ยนแปลงไปได้ ดังนั้นเราจึงสร้างโมดูลทำความร้อนด้วยแสงอินฟราเรดขึ้นมา เพื่อให้อุณหภูมิอยู่ในขอบเขตที่กำหนดไว้ตลอดกระบวนการผลิต
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เราใช้เครื่องปล่อยแสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น พร้อมไส้หลอดที่มีความสามารถในการตอบสนองได้อย่างรวดเร็ว ทำให้สามารถเพิ่มอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว และอุณหภูมิจะอยู่ในระดับที่สม่ำเสมอ ความแม่นยำของอุณหภูมิบนแผ่นวีเซอร์อยู่ที่ ±0.1°C ส่วนความแม่นยำระหว่างชุดผลิตต่างๆ อยู่ที่ ±0.2°C ระบบควบคุมอุณหภูมิแบบไฮโรมิเตอรีและ PID ช่วยให้อุณหภูมิอยู่ในขอบเขตที่กำหนดได้ โดยมีการปรับแก้ไขอุณหภูมิภายในเวลาไม่กี่วินาที ดังนั้นอุณหภูมิจึงไม่เปลี่ยนแปลงเมื่อประตูเปิดออก โมดูลเหล่านี้ถูกติดตั้งในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 และส่วนประกอบที่ทำจากควอตซ์/เซรามิกก็ถูกออกแบบมาให้ไม่มีการปล่อยอนุภาคใดๆ ออกมาเลย ไม่มีการหลุดลอก และไม่มีการปนเปื้อน
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผลดีในกระบวนการผลิตโฟโตเรซิสต์
การอบด้วยความร้อนแบบอ่อนและแบบแข็งช่วยในการกำจัดตัวทำละลายและการเชื่อมโยงโมเลกุลของโพลิเมอร์ โมดูลอินฟราเรดของเราช่วยลดเวลาในการอบ ในขณะที่ยังคงควบคุมค่าความหนาของเส้นได้อย่างมีประสิทธิภาพ นอกจากนี้ยังช่วยลดการใช้พลังงานได้อีกด้วย โดยที่ไม่ส่งผลต่ออัตราการผลิต
ความน่าเชื่อถือ
โมดูลเหล่านี้สามารถทำงานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีความเบี่ยงเบนของผลผลิตน้อยกว่า 5% นอกจากนี้ยังสามารถเปลี่ยนโมดูลได้ง่าย เพื่อให้กระบวนการผลิตดำเนินต่อไปได้
สิ่งที่ควรคำนึงถึง
ประสิทธิภาพสูงสุดจะเกิดขึ้นได้ก็ต่อเมื่อสเปกตรัมของแสงที่ปล่อยออกมาสอดคล้องกับความสามารถในการดูดซับแสงของโฟโตเรซิสต์ และการติดตั้งโมดูลก็ต้องสอดคล้องกับอินเตอร์เฟซทางกลและระบบระบายความร้อนของเครื่องจักรด้วย ควรมีการทดสอบในปริมาณจำกัดก่อน เพื่อปรับแต่งระบบ PID และยืนยันความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนแผ่นวีเซอร์ของคุณ เมื่อทุกอย่างสอดคล้องกันแล้ว อุณหภูมิก็จะอยู่ในขอบเขตที่กำหนดไว้จริงๆ