Üretim tesislerinde, 24/7 çalışma koşulları nedeniyle termal dalgalanmalara yer yoktur. 95°C’de yumuşak pişirme, 110°C’de sert pişirme işlemleri uygulanır; bu sıcaklıklar, çizgi genişliğini ve kusur oranlarını belirler. Eğer eşitlik derecesi ±0,5°C’nin üzerine çıkarsa, CD kaybı ve diğer sorunlar ortaya çıkar.
Termal yapımızı, yarı iletken ekipmanlarının gerçek ihtiyaçlarına göre geliştirdik; fotolitografi işlemleri ve ileri paketleme işlemleri için uygun olup, tamamen test edilmiştir.
Teknik açıdan önemli olanlar:
Haleksiz ısıtıcılarımız, NIR bölgesinde çalışacak şekilde ayarlanmıştır ve 150 mm ve 200 mm boyutundaki yüzeylerde yüzey düzeyindeki eşitliği ±0,1°C içinde tutar. Ayrıca, ayar noktalarının tekrarlanabilirliği ±0,05°C altındadır. Bu yapı, Class 1–100 temiz oda standartlarına uygundur ve sabit duruma geldiğinde 0,1 μm’den büyük hiçbir parçacık üretmez. Karbon lifli yalıtım sayesinde enerji tüketimi %25 oranında azalır ve 10°C/s hızında artış sağlanabilir. Kuvars pencereler ve standart konektörler, SEMI standartlarına uygundur.
Neden üretim tesislerinde kullanışlıdır?
Fotolitografi işlemlerinde termal kontrol sayesinde CD dağılımları daha iyi kontrol edilir ve yeniden işleme gereksinimleri azalır. Paketleme işlemlerinde ise kalıp kurutma ve doldurma işlemleri için gerekli termal koşullar sağlanır; böylece boşluklar ve ayrılma sorunları azalır. Güvenilirlik açısından ise MTBF değeri 10.000 saatin üzerindedir ve aylar süren işlemlerde hiçbir arıza yaşanmaz. Böylece daha hızlı kalifikasyon, daha az atık ve öngörülebilir maliyetler elde edilir; mevcut işlem prosedürlerinde herhangi bir değişiklik yapılmaz.
Planlamanız gerekenler:
Kurulum için özel bir 24 VDC güç kaynağı ve termal modül için temiz oda standartlarına uygun bir havalandırma sistemi gereklidir. Ürün yelpazeniz için termal profillerin belirlenmesi yaklaşık 24 saat sürer. Sistem SEMI standartlarına uygundur; ancak eski kontrol cihazlarıyla entegrasyon yapılıyorsa bir PLC ayarı gerekebilir. Arayüz spesifikasyonlarını ve yerinde kurulum hizmetlerini biz sağlıyoruz; böylece değişiklikler sorunsuz bir şekilde gerçekleştirilir.