Як позбутися кошмару несправностей ламп у процесі обробки ваферів
Якщо у вас коли-небудь ламалася інфрачервона лампа під час роботи на повну потужність, ви знаєте, що це означає – не лише перерва у роботі. Це справжня катастрофа: уламки скла та вольфрамові нитки потрапляють на вафери, що є причиною їх забруднення.
Ми доклали багато зусиль, щоб знайти спосіб запобігти таким ситуаціям.
Чому важливий алюмінієвий відбивач
Ми використовуємо відбивачі з високочистого алюмінію не лише для направлення тепла. Їх можна вважати своєрідною „захисною мережею“. Розміщуючи лампу в спеціальній алюмінієвій коробці, ми створюємо фізичний бар’єр. Якщо лампа все ж таки зламається, коробка захищає вафери від уламків.
Крім того, форма цих відбивачів дозволяє отримати більш ефективний ефект використання фотонів. Ви можете досягти потрібної температури, працюючи при меншій потужності лампи. Це велика перевага, адже менше теплового навантаження на кварц означає, що лампи прослужать довше.
Забезпечення чистоти
Ми також встановлюємо захисні екрани між лампою та ваферами. Це просте рішення, яке допомагає уникнути багатьох проблем. Якщо лампа зламається, екран захищає вафери від уламків. Ви можете просто замінити лампу та продовжити роботу, замість того, щоб годинами очищувати всю камеру.
Ми також приділяємо увагу точкам з’єднання. Ми бачили багато випадків, коли лампи зламувалися через нестабільне з’єднання. Щоб цього уникнути, ми використовуємо надійні кріплення, які витримують вібрації без пошкоджень.
Компроміси
Є один недолік – додавання відбивачів та екранів збільшує масу системи. Ймовірно, ви помітите незначну затримку під час підвищення температури порівняно з використанням звичайних ламп. Вам доведеться налаштувати параметри системи, щоб уникнути перевищення температури.
Це невелика ціна за спокій, знаючи, що ваші вафери в безпеці.