Як отримати максимальну кількість тепла для нагрівання пластин
Під час нагрівання кремнієвих пластин кожен ват має значення. Більшість стандартних відбивачів є неефективними – вони поглинають занадто багато інфрачервоного випромінювання або відбивають його у різних напрямках. Фактично ви оплачуєте енергію, яка навіть не потрапляє на поверхню пластини.
Саме тому ми використовуємо відбивачі, покриті золотом, та лампи з вуглецевим волокном. Це дозволяє уникнути втрат енергії.
Чому саме золото?
Це не через естетичні причини. Золото надзвичайно добре відбиває інфрачервоне світло – понад 98%. Можна також використовувати алюміній, щоб заощадити гроші, але алюміній окислюється з часом, втрачаючи свої властивості. Золото ж залишається стабільним протягом тривалого часу.
Коли поєднується параболічний чи еліптичний відбивач, покритий золотом, з елементом з вуглецевим волокном, отримується точковий потік енергії. Тепло потрапляє саме на поверхню пластини, а не нагріває всю вакуумну камеру.
Енергія та обладнання
Лампи з вуглецевим волокном є дуже потужними. Вони можуть обробляти значно більшу потужність, ніж старі тунгстенові лампи. Це дозволяє швидко підвищити температуру. Якщо ви проводите процедури точного допінгу чи анілінгу, вам потрібен чіткий тепловий профіль. Це має велике значення.
Але слід стежити за джерелом живлення. Ці лампи споживають велику кількість струму. Якщо ваша електропроводка не достатньо міцна, щоб витримати таке навантаження, виникнуть падіння напруги. Тоді нагрівання стане нерівномірним, і виникнуть проблеми. Ми завжди радимо використовувати додаткові елементи для забезпечення стабільного живлення.
Проблеми на практиці
Золото є чудовим матеріалом, але воно є м’яким. Якщо ваш персонал буде використовувати абразивні засоби для чищення, це може призвести до зносу золотового шару. Коли це трапиться, ефективність нагрівання значно знизиться, а температура поверхні пластини буде знижуватися майже миттєво.
Ще одна порада: ці лампи виробляють велику кількість тепла. Через високу щільність енергії можуть виникнути місця з надмірним нагріванням. Переконайтеся, що ваша система охолодження здатна впоратися з енергією, яка не потрапляє на пластину. Інакше може статися деформація корпусу лампи, а це серйозна проблема, яку ніхто не хоче мати.