Чому ми використовуємо водонепроникні інфрачервоні лампи на лініях виробництва напівпровідників
Давайте поговоримо про процес промивання та сушіння пластин у процесі виробництва напівпровідників. Якщо ви працювали на такій лінії, ви знаєте, що саме цей етап зазвичай уповільнює весь процес. Це своєрідний „вузький місце“.
Щоб усунути цю проблему, ми використовуємо водонепроникні інфрачервоні лампи. Це найкращий засіб для того, щоб перетворити пластину з стану „повністю мокрої“ на стан „абсолютно сухої“, не пошкодивши її поверхню та не залишивши жодних забруднень.
Проблеми зі старими печами
Раніше люди використовували конвективні печі. Але уявіть собі: потрібно нагрівати велику кількість повітря лише для того, щоб осушити маленьку пластину. Це марна трата енергії.
Інфрачервоні лампи працюють інакше – вони використовують електромагнітне випромінювання для безпосереднього впливу на вологу на поверхні пластини. Таким чином не потрібен повітря. Оскільки цей метод дуже ефективний, нам не потрібні старі хімічні розчинники чи добавки на основі свинцю для виконання завдання. Це просто чиста, пряма енергія.
Боротьба з вологістю
Ось складна частина: ці лампи розташовані безпосередньо після станції промивання. Це означає, що вони постійно піддаються впливу вологи та хімічних парів. Це дуже складні умови для роботи ламп.
Якщо звичайна кварцова трубка піддається впливу води при високій температурі, вона миттєво розтріскується. Щоб уникнути цього, ми використовуємо спеціальні кварцові корпуси та герметичні елементи. Це запобігає потраплянню вологи до філамента, тож лампа не може зламатися.
Ми також використовуємо лампи з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням. Чому? Тому що воно проникає глибше та швидко видаляє воду з поверхні пластини. Це дуже швидко. І це означає, що обладнання займає значно менше місця на підлозі.
Проблема: контроль температури
Є один недолік – високояскраві інфрачервоні лампи виділяють велику кількість тепла. Не можна просто підключити їх та залишити без нагляду.
Якщо у вас немає ефективного системи охолодження, корпус обладнання почне деформуватися. Ще гірше – лампи можуть швидко згоріти через надмірне нагрівання. Потрібно правильно налаштувати систему охолодження, інакше ви просто будете витрачати гроші на заміну комплектуючих.
Ми розробляємо ці лампи як замінники. Шляхом налаштування довжини хвилі так, щоб вона відповідала способу поглинання тепла водою, ми можемо ідеально осушити пластину, не перегріваючи сам матеріал. Це просто працює.