Чому ми відмовляємося від використання гарячого повітря на користь інфрачервоних ламп без озону
Будемо чесні: використання гарячого повітря для обробки напівпровідників є неефективним. Цей процес є дуже повільним. Фактично ми просто нагріваємо повітря, сподіваючись, що воно згодом нагріє сам продукт. Це є посередницьким процесом, який призводить до великих втрат часу.
Перехід на інфрачервоні лампи без озону кардинально змінює ситуацію. Замість очікування, поки повітря нагріється, ми використовуємо випромінювання. Енергія потрапляє безпосередньо на поверхню продукту. Немає жодних посередників – лише тепло.
Проблеми, пов’язані з конвекцією
Якщо ви працювали з системами, які використовують гаряче повітря, ви знаєте, як це складно. Час нагріву здається надто довгим, а ефект нагріву є недостатнім. Крім того, форма продукту також є проблемою – якщо змінити форму продукту, потрібно годинами налаштовувати потік повітря.
Наші інфрачервоні лампи усувають ці проблеми. Ми використовуємо спеціальну суміш кварцу та фільтровані емітери для блокування хвилі довжини 185 нм. Чому? Тому що саме ця хвиля перетворює кисень на озон. У чистій кімнаті озон є справжньою проблемою – він забруднює все навколо та пошкоджує чутливі пластини. Блокуючи цю хвилю, ми зберігаємо чистоту процесу.
Яка користь від використання інфрачервоних ламп
Інфрачервоне нагрівання дозволяє точково нагрівати певну ділянку пластини, без необхідності нагрівання всієї кімнати. Цей процес є дуже швидким.
З нашого досвіду, використання інфрачервоних ламп може скоротити час обробки на 40–70%. Ви отримуєте високу щільність тепла саме там, де це необхідно, а також можете швидко підвищувати чи знижувати температуру.
“Недоліки” (бо їх завжди є)
Не можна просто покласти інфрачервону лампу в стару конвекційну піч та вважати, що все гаразд. Інфрачервоне випромінювання потребує прямого контакту з поверхнею продукту. Якщо на поверхні є глибокі борозни чи складна 3D-форма, виникають проблеми з нагріванням. Щоб це усунути, потрібен комплекс з кількох ламп чи відбивачів, які будуть направляти енергію в „мертві“ зони.
Ще одна проблема полягає у тому, що передача тепла відбувається дуже швидко, тож контролери повинні реагувати так само швидко. Якщо використовувати повільні системи керування, можна перегріти поверхню продукту. Потрібна система, яка буде реагувати так само швидко, як і лампи.