Ngăn chặn những tai họa do sự cố của các ống đèn trong quy trình xử lý wafer
Nếu bạn từng gặp tình trạng ống đèn bị nổ trong quá trình hoạt động với tải cao, bạn sẽ hiểu rằng vấn đề không chỉ dừng lại ở việc máy phải ngừng hoạt động mà thôi. Những mảnh thủy tinh và sợi wolfram văng ra từ ống đèn sẽ gây ô nhiễm cho các wafer. Đó thực sự là một thảm họa.
Chúng tôi đã dành nhiều thời gian để tìm cách ngăn chặn tình trạng này xảy ra.
Tại sao bộ phản xạ bằng nhôm lại quan trọng?
Chúng tôi sử dụng các bộ phản xạ bằng nhôm có độ tinh khiết cao, không chỉ để hướng ánh sáng mà còn như một lớp bảo vệ. Bằng cách đặt ống đèn vào khay bằng nhôm được chế tạo tỉ mỉ, chúng tôi tạo ra một rào cản vật lý để ngăn các mảnh vụn rơi xuống các wafer. Ngoài ra, cấu trúc của các bộ phản xạ này giúp tăng hiệu quả sử dụng năng lượng. Bạn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn mà không cần sử dụng công suất cao của ống đèn. Điều này giúp giảm áp lực nhiệt lên ống đèn, từ đó kéo dài tuổi thọ của chúng.
Giữ cho mọi thứ sạch sẽ
Chúng tôi cũng lắp đặt lớp bảo vệ giữa ống đèn và các wafer. Đây là biện pháp đơn giản nhưng hiệu quả, giúp tránh được nhiều rắc rối. Nếu ống đèn bị nổ, lớp bảo vệ sẽ giữ lại các mảnh vụn. Bạn chỉ cần thay thế ống đèn và tiếp tục công việc, thay vì mất hàng giờ để làm sạch toàn bộ buồng xử lý.
Chúng tôi cũng rất chú trọng đến các điểm kết nối. Chúng tôi đã chứng kiến nhiều trường hợp ống đèn bị nổ do các điểm kết nối lỏng lẻo. Để tránh điều này, chúng tôi sử dụng các bộ kết nối chắc chắn, có khả năng chịu được rung động mà không bị lỏng lẻo.
Những bất lợi
Tuy nhiên, việc sử dụng các bộ phản xạ và lớp bảo vệ sẽ làm tăng trọng lượng của hệ thống. Bạn có thể nhận thấy sự chậm trễ khi tăng nhiệt độ so với việc sử dụng ống đèn thông thường. Bạn cần điều chỉnh thông số PID để khắc phục tình trạng này. Đó là cái giá nhỏ để đổi lấy sự yên tâm rằng các wafer của bạn được bảo vệ an toàn.