Tại sao chúng ta sử dụng đèn hồng ngoại chống nước trong các dây chuyền sản xuất bán dẫn?
Hãy cùng tìm hiểu về quy trình rửa và sấy khô trong quy trình sản xuất bán dẫn. Nếu bạn từng làm việc trong các dây chuyền này, bạn sẽ biết rằng đây chính là bước khiến toàn bộ quy trình bị chậm lại. Đó chính là điểm nghẽn trong quy trình sản xuất.
Để khắc phục vấn đề này, chúng ta sử dụng đèn hồng ngoại chống nước. Đây là công cụ tốt nhất để làm khô wafer từ trạng thái ướt sũng xuống trạng thái khô hoàn toàn, mà không làm hỏng bề mặt wafer hay để lại các chất gây ô nhiễm.
Vấn đề với các lò sấy cũ
Trước đây, người ta thường sử dụng lò sấy kiểu đối lưu. Nhưng hãy suy nghĩ một chút: chúng ta phải sử dụng một lượng lớn không khí nóng chỉ để sấy khô một chiếc wafer nhỏ bé. Đó là sự lãng phí năng lượng.
Đèn hồng ngoại thì khác. Chúng sử dụng bức xạ điện từ để tác động trực tiếp lên hơi nước trên bề mặt wafer. Nhờ vậy, chúng không cần sử dụng không khí nóng. Vì hiệu quả cao như vậy, chúng ta không cần phải sử dụng các chất hóa học hay chất phụ gia chứa chì để thực hiện công việc này. Đó chính là nguồn năng lượng sạch và hiệu quả.
Xử lý vấn đề độ ẩm
Đây là điểm khó khăn: các đèn hồng ngoại này được đặt ngay sau khu vực rửa wafer. Do đó, chúng liên tục chịu tác động của độ ẩm và các hơi hóa học. Đó là môi trường rất khắc nghiệt.
Nếu một ống thủy tinh thông thường bị tiếp xúc với nước trong khi vẫn còn nóng, nó sẽ vỡ ngay lập tức. Để tránh điều này, chúng ta sử dụng các vỏ bọc thủy tinh chuyên dụng và các nắp đậy kín. Điều này giúp ngăn chặn hơi nước xâm nhập vào bên trong ống đèn, từ đó tránh việc đèn bị hỏng.
Chúng ta cũng sử dụng đèn hồng ngoại bước sóng ngắn. Tại sao vậy? Bởi vì chúng có thể xuyên sâu vào bề mặt wafer và loại bỏ hơi nước trong vài giây. Điều này giúp tiết kiệm diện tích sử dụng trên sàn nhà.
Nhược điểm: Kiểm soát nhiệt độ
Tuy nhiên, cũng có một nhược điểm. Đèn hồng ngoại có cường độ cao sẽ tạo ra lượng nhiệt lớn. Bạn không thể đơn giản cắm chúng vào và bỏ mặc chúng.
Nếu bạn không có hệ thống tản nhiệt tốt, thân máy sẽ bị biến dạng. Tệ hơn nữa, đèn có thể bị hỏng do quá nhiệt. Bạn cần phải đảm bảo hệ thống tản nhiệt hoạt động tốt, nếu không bạn sẽ lãng phí tiền vào việc thay thế linh kiện.
Chúng tôi thiết kế các đèn hồng ngoại này sao cho chúng có thể thay thế trực tiếp các đèn cũ. Bằng cách điều chỉnh bước sóng sao cho phù hợp với khả năng hấp thụ nhiệt của nước, chúng ta có thể làm khô wafer một cách hoàn hảo mà không làm quá nóng bề mặt wafer. Đó chính là giải pháp tốt nhất.