为何我们要转向红外线固化技术来处理晶圆
让我们先来看看传统的处理方式。多年来，我们一直依赖大型对流烤箱以及各种有害化学物质来干燥晶圆。虽然这种方法可行，但效率很低且成本高昂。
如今，“环保”或“无铅化”已经不再只是为了满足某些监管要求而已。它的真正意义在于消除那些有害的挥发性有机化合物，从而减少洁净室内的碳排放量。这显然是非常明智的做法。
红外线固化技术的原理
想象一下对流烤箱的工作原理：你需要先加热空气，然后再让空气去加热晶圆。这个过程很慢，而且效率低下。
而红外线灯则不同。它利用电磁辐射直接照射晶圆表面，无需加热整个金属箱及其周围的空气即可完成固化过程。这样一来，固化速度大大加快，同时也能降低能耗。真是双赢的局面。
如何在避免有毒物质产生的前提下达到最佳效果
传统的固化方法通常需要使用溶剂，而这些溶剂必须通过高温才能被分解掉。
而使用红外线技术的话，我们可以精确控制波长，只对光阻剂或粘合剂中需要加热的部分进行加热，而不会影响到硅基片本身。由于精度极高，因此不会产生有毒气体。此外，我们还可以不再使用含铅的稳定剂。这是一种更环保的加工方式。
存在的局限（因为没有什么是完美的）
不过，也有缺点。高强度的红外线光源会在极小的空间内产生大量热量。如果冷却系统不够完善，就可能导致晶圆变形，甚至损坏光源的连接部件。
在速度与均匀性之间总存在一种平衡问题。如果将光源放得离晶圆更近，固化速度就会更快，但同时也有可能出现“热点”现象。因此，我们需要找到一个合适的距离，以确保整体固化效果的一致性。
我们设计的这些系统可以替代那些耗能巨大的旧式烤箱。这样，不仅可以节省空间，还能减少能源消耗。简单明了吧。