为什么在半导体制造过程中要使用防水红外线灯
让我们来谈谈半导体制造中的清洗与干燥环节。如果您有过相关工作经验的话，就会知道这一环节往往是整个生产流程中的瓶颈，会导致整个流程的速度变慢。
为了解决这个问题，我们使用了防水红外线灯。这类灯具是让晶圆从“湿透状态”变为“完全干燥状态”的最佳工具，而且不会损坏晶圆表面，也不会留下任何污染物。
传统烤箱的缺点
过去，人们使用对流式烤箱来烘干晶圆。但试想一下：为了烘干一个微小的晶圆，却需要加热大量的空气，这无疑是一种浪费能源的行为。
而红外线灯则不同。它利用电磁辐射直接作用于晶圆上的水分，完全不需要借助空气。由于效率极高，因此无需使用那些有害的化学溶剂或含铅添加剂。这是一种高效且环保的解决方案。
应对潮湿环境的问题
不过，这些灯具位于清洗站之后，因此会持续受到湿气和化学蒸汽的侵袭。这样的环境对灯具来说相当恶劣。
如果普通的石英管在高温状态下被水浸湿，它立刻就会破裂。为了解决这个问题，我们使用了特殊的石英外壳以及密封结构，从而避免水分进入灯丝，防止灯具损坏。
此外，我们还选择使用短波红外线灯。因为这种光线能更深入地穿透晶圆表面，迅速将水分蒸发掉。这样不仅速度更快，还能减少设备占用的空间。
需要注意的另一个问题：热量管理
不过，高强度的红外线灯会产生大量热量。因此，不能简单地将其接通电源后就不管了。如果没有有效的散热装置，设备的结构就可能会变形。更糟糕的是，由于过热，灯具还会提前损坏。所以，必须确保良好的散热效果，否则就会白白浪费更换部件的费用。
我们设计的这些灯具可以直接替代原有的灯具。通过调整波长，使其与水吸收热量的方式相匹配，我们就能在不使晶圆过热的情况下将其彻底烘干。这样的设计非常有效。