Udržování čistoty v místnosti určené k zpracování polovodičů
Pokud provozujete čistou místnost třídy 100, víte již, že filtry vzduchu jsou jen polovinou řešení. Skutečný problém spočívá v tom, co nelze vidět.
Většina infračervených lamp představuje problém – jejich povlaky se odlupují, nebo kvarc prostě pod vlivem tepla selže a uvolňuje drobné částice přímo na váš křemíkový destičky. Je to noční můra.
Proč používáme zlato
Rozhodli jsme se pro povlak z vysoce čistého zlata na kvartovém obalu, abychom tomu zabránili. Zlato je skvělé proto, že se neoxiduje. Na rozdíl od levnějších reflektorů, které se poškozují, zlato zůstává stabilní i při vysokých teplotách.
Zlato umožňuje směrovat infračervené záření přesně tam, kam má jít – směrem k cíli – bez plýtvání energií na samotný obal lampy.
Podrobnosti o materiálech
Jádro lampy je vyrobeno z vysoce čistého syntetického kvartzu. Používáme ho proto, aby během procesu ohřevu nic neuniklo ven. Žádné „stopy“ chemikálií na destičkách – pouze čisté teplo.
Zlato aplikujeme pomocí vakuumové depozice. Tím vznikne pevné spojení, které neodlupuje ani se neopotřebuje, dokonce i při rychlých změnách teploty. Při práci s 300mm destičkami a přesnými tolerancemi právě tyto několik mikrometrů zlata zaručuje, že vaše čipy nekončí v odpadu.
Několik tipů
Lampy s povlakem ze zlata jsou sice nejčistší volbou, ale jsou trochu náročné na zacházení.
Za prvé – nikdy se neručte holýma rukama na povrch lampy. I malé množství kožního mazu může během prvního ohřevu poškodit zlato, což vede ke vzniku „teplých míst“. Je to chyba, která se snadno stane, ale má velké následky.
Kromě toho, protože zlato mění způsob vyzařování tepla, pravděpodobně budete muset upravit své regulátory PID. Pokud to neuděláte, můžete překročit cílovou teplotu.
Poslední tip: používejte specializovaný zdroj napájení. Ten udržuje stálé napětí a zabrání předčasnému porušení vlákna v lampě.