Na výrobní ploše, několik stupňů odchylky teploty během pečení photoresistu není „menší odchylka“. Přímo to zasahuje do uniformity kritických rozměrů...

Na výrobní lince je posun o 0,1 °C během sušení plátků nebo vypalování fotorezistu dostatečný k vychýlení kritické dimenze ze specifikace. Následuje...

Na provozu tracker udržuje svůj stálý rytmus. Cítíte vzduch z čisté místnosti na kůži a zároveň i tlak. Jedna pec se vychyluje. Teplotní rozložení po...