Wie man die Halbleiterheizungen sauber hält
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, wissen Sie bereits, dass Luftfilter nur die halbe Lösung sind. Das eigentliche Problem sind die Stoffe, die man nicht sehen kann.
Die meisten Infrarotlampen stellen ein Problem dar. Ihre Beschichtungen blättern ab oder das Quarzmaterial gibt unter der Hitze nach – dadurch gelangen winzige Partikel auf die Siliziumwafers. Das ist eine Katastrophe.
Warum wir Gold verwenden
Wir haben eine hochreine Goldbeschichtung auf die Quarzkapsel aufgetragen, um dieses Problem zu verhindern. Gold eignet sich hervorragend, denn es oxidiert nicht. Im Gegensatz zu billigeren Reflektoren, die bei hoher Temperatur zerfallen, bleibt Gold stabil.
Gold leitet die Infrarotstrahlung genau dorthin, wo sie benötigt wird – also zum Zielobjekt – ohne Energie im Lampenkörper zu verschwenden.
Einsatz von hochwertigen Materialien
Der Kern besteht aus hochreinem synthetischem Quarz. Wir verwenden dieses Material, damit während des Heizvorgangs nichts ausgetreten werden kann. Keine „Geisterbilder“ und keine seltsamen chemischen Spuren auf den Wafers – nur reine Wärme.
Das Gold wird mittels Vakuumabscheidung aufgetragen. Dadurch entsteht eine stabile Verbindung zwischen dem Gold und dem Quarzmaterial. Die Beschichtung blättert auch dann nicht ab, wenn die Temperatur stark schwankt. Wenn man mit 300-mm-Wafers arbeitet, sind diese wenigen Mikrometer Gold entscheidend dafür, dass die Chips nicht als Schrotts enden.
Ein paar Dinge, auf die man achten muss
Goldbeschichtete Lampen sind zwar die sauberste Option, doch sie sind etwas empfindlich. Zunächst sollten Sie die beschichtete Oberfläche auf keinen Fall mit bloßen Händen berühren. Schon ein wenig Hautfett kann das Gold während des ersten Aufheizvorgangs angreifen – das führt zu „Hotspots“. Das ist ein leichter Fehler, doch er kann teure Folgen haben.
Außerdem ändert das Gold die Art und Weise, wie die Wärme abgegeben wird. Deshalb müssen Sie Ihre PID-Steuerungen möglicherweise anpassen. Andernfalls könnten Sie die gewünschte Temperatur überschreiten.
Noch ein Tipp: Verwenden Sie eine spezielle Stromversorgung. Dadurch bleibt die Spannung konstant und das Filament brennt nicht vorzeitig aus.