
نگهداری فضای تمیز برای تولید تراشههای نیمههادی
اگر از اتاقهای تمیز کلاس ۱۰۰ استفاده میکنید، میدانید که فیلترهای هوا تنها نیمی از راه را طی کردهاند. مشکل واقعی، چیزهایی است که قابل مشاهده نیستند.
اکثر لامپهای مادون قرمز مشکلات زیادی دارند؛ لایههای روی آنها پوسته میخورند، یا کوارتز در اثر گرما تخریب میشود و ذرات ریزی روی ویفرهای سیلیکونی تولید میشود. این وضعیت واقعاً وحشتناک است.
چرا از طلا استفاده میکنیم؟
ما از لایههای طلا با خلوص بالا بر روی کوارتز استفاده کردهایم تا از وقوع این مشکلات جلوگیری شود. طلا مزیت این را دارد که اکسید نمیشود؛ برخلاف آن رزولورهای ارزانتر که در شرایط گرمازا تخریب میشوند، طلا حتی در شرایط بسیار گرم نیز پایدار میماند.
طلا، تشعشعات مادون قرمز را دقیقاً به جهت مورد نظر هدایت میکند؛ بدون اینکه انرژی اضافی در بدنه لامپ صرف شود.
جزئیات مربوط به مواد
هسته لامپ از کوارتز مصنوعی با خلوص بالا ساخته شده است؛ این کار باعث میشود که هیچ چیزی در حین گرم شدن لامپ خارج نشود. هیچ رد شیمیایی یا لکهای روی ویفرها ایجاد نمیشود؛ فقط گرمای تمیز ایجاد میشود.
ما از روش تزریق در خلأ برای لایهبرداری طلا استفاده میکنیم؛ این روش باعث ایجاد پیوند محکمی میشود. لایه طلا حتی در شرایط دمای بالا نیز پوسته نمیخورد. وقتی با ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری کار میکنید، همین چند میکرون طلا میتواند از تخریب تراشهها جلوگیری کند.
نکاتی که باید در نظر بگیرید
لامپهای طلا، پاکترین گزینه هستند؛ اما کمی حساس هستند.
اولاً، هرگز سطح لامپ را با دست خالی لمس نکنید؛ حتی کمی روغن پوستی میتواند در حین گرم شدن لامپ، لایه طلا را خراب کند. این اشتباه ساده، اما پیامدهای گرانقیمتی دارد.
همچنین، از آنجایی که طلا نحوه تولید گرما را تغییر میدهد، احتمالاً نیاز به تنظیمات خاصی برای کنترلرهای PID خواهید داشت. در غیر این صورت، ممکن است دمای مورد نظر را فراتر بروید.
یک نکته دیگر: از منبع تغذیه مناسب استفاده کنید؛ این کار باعث میشود ولتاژ ثابت بماند و رشتههای فیلامنت لامپ از بین نرود.