متوقف کردن پدیده شرپنل: حفظ تمیزی ویفرها در صورت خرابی لامپهای مادون قرمز
در خطوط تولید نیمههادی با ظرفیت بالا، یک خرابی کوچک میتواند کل روز کاری شما را نابود کند. منظورم خرابی یک لامپ مادون قرمز است؛ وقتی این اتفاق میافتد، شما فقط با یک لامپ خراب سروکار ندارید، بلکه با تکههای کوارتز و گرد و غبار فلزی که روی ویفرها میافتد، سروکار دارید. این وضعیت واقعاً وحشتناک است.
به همین دلیل، ما گرمکنهای مخصوصی در اتاقهای تمیز ساختهایم تا از ایجاد این مشکلات جلوگیری کنیم.
واقعیت خرابی لامپها
لامپهای مادون قرمز با توان بالا، در شرایط سختی کار میکنند؛ آنها مدام با فشارهای ناشی از گرمای بالا و سرمای پایانی لامپ مبارزه میکنند. اگر کوارتز مورد استفاده مناسب نباشد، تحت فشار خراب میشود.
ما از کوارتز ارزانقیمت استفاده نمیکنیم؛ بلکه از کوارتز سنتتیک با دیواره ضخیم و خلوص بالا استفاده میکنیم. این کوارتز میتواند تغییرات حرارتی را تحمل کند، بدون اینکه تغییر شکل دهد؛ این امر باعث میشود پدیده خرابی لامپ کاهش یابد.
استفاده از سیستمهای ایمنی
اما حتی بهترین کوارتزها نیز ممکن است خراب شوند؛ نمیتوانید کل تولید خود را به استحکام لامپ بسپارید. بنابراین، ما یک سپر فیزیکی نیز اضافه کردهایم؛ اگر لامپ خراب شود، این سپر تکههای شکسته را جذب میکند و ویفرها همچنان تمیز باقی میمانند.
همچنین، ما به مسائل الکتریکی نیز توجه کردهایم؛ اتصالات ضعیف در ترمینالها میتوانند منجر به ایجاد نقاط گرم شوند که کوارتز را خراب میکنند. ما این اتصالات را با اتصالات دقیقتری جایگزین کردهایم تا دمای لامپ کنترل شود.
معایب این روش
البته، این روش نیز معایبی دارد؛ قرار دادن سپر بین منبع گرما و ویفر، باعث کاهش قدرت تابش مستقیم میشود. برای بازگرداندن سرعت تولید به حد مطلوب، ممکن است نیاز باشد توان لامپ را افزایش دهید یا زمان کار لامپ را تنظیم کنید.
فقط مطمئن شوید که منبع تغذیه شما بتواند بار اضافی را تحمل کند؛ در غیر این صورت، ممکن است ولتاژ کاهش یابد و این امر منجر به گرمای ناهموار شود؛ که این نیز یکی دیگر از دلایل خرابی تولیدات است.