Comment maximiser la chaleur appliquée aux wafers
Lorsque vous chauffez des wafers en silicium, chaque watt compte. La plupart des réflecteurs standards sont inefficaces : ils absorbent trop de rayonnement infrarouge ou le renvoient dans toutes les directions. En réalité, vous payez pour de l’énergie qui ne touche même pas le wafer.
C’est pourquoi nous utilisons des réflecteurs revêtus d’or et des lampes infrarouges en fibre de carbone. Cela permet d’éviter toute perte d’énergie.
Pourquoi l’or ?
Ce n’est pas une question d’apparence. L’or reflète incroyablement bien la lumière infrarouge – plus de 98 %. Vous pourriez utiliser de l’aluminium pour économiser un peu d’argent, mais l’aluminium s’oxyde avec le temps, perdant ainsi son efficacité. L’or, lui, reste stable.
En combinant un réflecteur parabolique ou elliptique revêtu d’or avec un élément en fibre de carbone, on obtient un faisceau d’énergie bien ciblé. Ainsi, la chaleur est dirigée directement sur la surface du wafer, sans chauffer toute la chambre à vide.
Les composants et la puissance
Les lampes en fibre de carbone sont très performantes. Elles peuvent gérer une densité de puissance bien supérieure à celle des anciennes lampes en tungstène. Cela permet d’élever rapidement la température. Si vous effectuez des traitements précis, vous avez besoin d’un profil thermique précis. Cela fait une énorme différence.
Mais attention : veillez bien à votre alimentation électrique. Ces lampes consomment une grande quantité de courant. Si vos fils ne sont pas suffisamment solides pour supporter cette charge, vous aurez des baisses de tension. La chaleur ne sera plus uniforme, et vous aurez des problèmes. Nous recommandons généralement d’utiliser des fils de gros calibre pour éviter que la chaleur ne se propage vers les points de connexion.
Problèmes concrets
L’or est excellent, mais il est fragile. Si votre équipe de maintenance utilise des produits abrasifs, elle risque d’enlever la couche d’or. Une fois cela arrivé, l’efficacité de la lampe diminue, et vous verrez immédiatement une baisse de la température à la surface du wafer.
Un dernier conseil : ces lampes génèrent beaucoup de chaleur. Comme leur densité est élevée, des zones chaudes locales peuvent apparaître. Assurez-vous que votre système de refroidissement soit capable de gérer l’énergie qui n’est pas utilisée pour chauffer le wafer. Sinon, vous risquez de voir le boîtier de la lampe se déformer, ce qui est un problème que personne ne veut rencontrer.