מחמם אינפרא אדום לתא ואקום

בקו של 300mm, אפיית ריכוך אינה אופציונלית — זו תקציב חום, פשוט וברור. סטייה של 2°C על פני ה-wafer יכולה להזיז את ה-CD בננומטרים, והואקום רק מחמיר את...