Sensore di temperatura per strumento a wafer
Mantenere pulite le wafer: la verità sulle rotture delle lampade
Se si produce in grandi quantità, si conosce bene questa situazione disastrosa: una...
Riscaldatore per strumento di ispezione dei semiconduttori
Sul pavimento dello stabilimento, una deriva di 0,1°C durante l’asciugatura del wafer o la cottura del fotoresist è sufficiente per far uscire una...