액셀리스 히터 엘리먼트 예비 부품

공정 현장에서, 포토레지스트 베이크 시 몇 도의 온도 변동은 “사소한 편차”가 아니다. 이는 바로 Critical Dimension(치수 결정) 균일성에 직접 타격을 주며, 웨이퍼를 폐기물로 내몰기 시작한다. Axcelis 열 모듈이 목표치를 벗어나면 라인이 중단되고...