반도체 청정실용 트롤리 히터

청정실 내에서 사용되는 트롤리를 과도하게 가열하는 것을 그만두세요. 반도체 웨이퍼를 이동시킬 때는 적절한 온도를 유지하는 것이 매우 중요합니다. 오랫동안 사용된 방법은 대류식 히터를 이용하는 것이었습니다. 하지만 문제는 이 방식으로는 주변의 모든 것이 함께 가열된다는...