글로벌 반도체 장비 무역

팹 내에서는 24시간 연속 가동되기 때문에 온도 변동을 용납할 수 없습니다. 95°C에서의 소프트 베이크와 110°C에서의 하드 베이크를 통해 선폭 제어 및 결함 관리가 이루어집니다. 만약 온도의 균일성이 ±0.5°C를 넘어서면, CD 손실과 같은 문제가 발생할 수...