반도체 가열 과정에서의 청결 유지하기 만약 클래스 100급 클린룸을 운영하고 있다면, 공기 필터만으로는 충분하지 않다는 것을 이미 알고 있을 것입니다. 진짜 문제는 눈에 보이지 않는 것들입니다. 대부분의 적외선 램프는 문제가 많습니다. 램프의 코팅층이 벗겨지거나, 석...

열을 낭비하지 마세요: 금 도금된 트윈 튜브가 왜 효과적인지 반도체 웨이퍼를 가열할 때는 모든 와트가 중요합니다. 일반 석영 램프의 문제점은 방사선이 사방으로 퍼진다는 것입니다. 고가의 에너지 대부분이 챔버의 벽에 부딪혀 사라져버립니다. 이는 엄청난 낭비입니다. 그래...

밤이 되어 주변이 서늘해지고, 정원의 조명이 켜질 때, 원하는 것은 바로 따뜻함입니다. 천천히 온도가 오르는 식의 느린 방식이 아닙니다. 골드 튜브형 적외선 히터는 바로 그런 따뜻함을 제공합니다. 마치 태양이 물체를 따뜻하게 하는 것처럼, 사람과 가구에 직접적으로 열...

팹에서는 포토레지스트 처리 과정 중에 열 변동이 발생하는데, 이는 눈으로 직접 확인하기 전에 먼저 느낄 수 있습니다. 오버레이가 흐트러지고, CD 제어도 정상적으로 이루어지지 않으며, 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서도 문제가 생깁니다. 이런 상황이 발생하면 생산...