MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

기존의 방식을 버리고: 적외선을 이용한 MEMS 웨이퍼 건조 MEMS 센서를 제작할 때, 웨이퍼에 남아 있는 수분을 제거하는 것은 꽤 까다로운 과제입니다. 물을 빠르게 제거해야 하지만, 열을 잘못 조절하면 재료에 스트레스가 가해져 전체 제품의 품질이 저하될 수 있습니...