와이퍼 가공용 예비 부품 온라인 판매
생산 라인에서는 리소그래피 장비가 드리프트 현상을 견딜 수 없습니다. 소프트 베이크 과정에서 2°C만의 온도 변화라도 포토레지스트의 두께에 영향을 주며, 하드 베이크 과정에서는 잔존 스트레스가 필름에 그대로 남게 됩니다. 이는 단순한 이론이 아니라, 폐기된 웨이퍼나...
액셀리스 히터 엘리먼트 예비 부품
공정 현장에서, 포토레지스트 베이크 시 몇 도의 온도 변동은 “사소한 편차”가 아니다. 이는 바로 Critical Dimension(치수 결정) 균일성에 직접 타격을 주며, 웨이퍼를 폐기물로 내몰기 시작한다. Axcelis 열 모듈이 목표치를 벗어나면 라인이 중단되고...