진공 챔버 적외선 히터

300mm 라인에서는 소프트 베이크가 선택 사항이 아니라, 명확한 열 예산입니다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 2°C의 온도 변동만으로도 CD가 나노미터 단위로 이동할 수 있으며, 진공 챔버는 이러한 편차를 더욱 악화시킵니다. 당사는 진공 챔버 IR 히터를 설계하여 이 변동성...